Occasion EVG / EV GROUP 6200 #9223335 à vendre en France

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ID: 9223335
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Mask aligners, 8" Manual wafer load mask aligner (TSA+BIR) With mask holder: 9”x 9” Exposure mode: Soft contact / Hard contact / Vacuum contact Lamp house: 1000 W Range of alignment: X, Y: +/- 5 mm Rotation: Theta +/- 3.5° Actuated by analog 3 axes joystick Resolution: 0.06 μm Movements: Motorized Alignment accuracy: Top side alignment: 0.5 μm (With 20x objective) Top to bottom side alignment: 1 μm (With 20x objective) 2110C2-E Radiation power system Anti vibration table: 1000 W User interface: Microsoft Windows based Monitor screen System PC Keyboard Cables Joysticks UPS Operations manual 2006 vintage.
L'aligneur de masques EVG/EV GROUP 6200 est un outil très avancé de photolithographie et d'alignement de couches minces utilisé dans la fabrication de dispositifs d'affichage MEMS, semi-conducteurs et panneaux plats. Cet équipement est conçu pour permettre des décalages de précision dans les axes x, y et z afin d'obtenir le meilleur alignement des couches de masque (ou pochoir) et de substrat. L'aligneur de masque EVG 6200 possède une capacité d'alignement dans le plan et hors plan avec une précision de positionnement de 0,5µm par axe. En outre, il dispose d'un système de caméra haute résolution avec point d'alignement et reconnaissance nodale pour le placement exact. Il est également compatible avec les optiques standard et les mandrins à vide jusqu'à 110 mm de diamètre. Le poste de travail intégré de conception ergonomique comprend un traitement unitaire sur puce, un contrôle asynchrone rapide et des interfaces utilisateur avancées. Tous les composants sont intégrés dans un boîtier intégré en aluminium de qualité industrielle et sont assis au-dessus des montures à air sans vibrations pour une stabilité inégalée. Cette machine est conçue avec une fonction d'auto-étalonnage qui simplifie le fonctionnement et assure la précision de répétition et l'uniformité du produit. En outre, il inclut la capacité d'exposition automatique qui permet des ajustements et des profils d'exposition variables. Pour une productivité maximale, il intègre des notifications de table d'indexation manuelle haute performance et d'état de fonctionnement pour assurer un traitement efficace des dispositifs. Grâce à son interface graphique intuitive, l'alignement de masque EV GROUP 6200 peut être facilement configuré pour répondre aux besoins spécifiques des clients. 6200 aligner de masque permet un alignement précis du substrat avec le motif, réduisant la largeur de ligne et le désalignement des caractéristiques. Sa machine à rétroaction de position et de rotation très précise garantit un minimum d'erreurs d'alignement pour donner les impressions souhaitées. L'outil est compatible avec divers matériaux thermoplastiques, à faible conductivité thermique, et des métaux pour l'impression de tampons et vias avec une grande précision. En outre, cet outil est hautement économe en énergie, contribuant à réduire les factures d'énergie et à préserver la qualité de l'environnement.
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