Occasion EVG / EV GROUP 620TBR #9207968 à vendre en France
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ID: 9207968
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2002
Automated mask aligner, 6"
Topside alignment (TSA)
Bottom side alignment (BSA)
Automatic alignment
(3) Cassette station ergo load cassette station
Cassette to cassette handling (can also be operated in manual mode)
Up to 6" wafer capable
Can be operated in proximity, soft contact, hard contact / Vacuum contact exposure modes
Exposure optics: Type C, 350 nm - 450 nm, broadband
Lamphouse: 500 W
Motorized alignment stage (x, y, theta directions) to the 3-Axis joystick
Microsoft windows based user interface
System PC, keyboard, cables
Operations manual for EVG 620
2002 vintage.
EVG/EV GROUP 620TBR Mask Aligner est un appareil de pointe conçu pour l'alignement et le marquage de masque haute résolution. C'est un équipement entièrement automatisé basé sur des plaquettes qui offre précision et précision tout en simplifiant le processus de génération de motifs complexes. EVG 620TBR offre une très grande précision d'alignement sur toute la surface de la plaquette, avec des temps de cycle allant de secondes à minutes. Cette machine est également capable de produire des résultats à haut rendement avec des motifs à haute résolution. EV GROUP 620TBR est équipé d'une technologie de pointe qui permet à l'utilisateur de positionner et d'exposer avec précision différents motifs sur une seule plaquette. Il dispose d'un système d'alignement optique haute résolution et d'une unité d'exposition par évaporation, qui utilisent des lentilles de balayage pour ajuster la taille et la forme d'un motif lorsqu'il est projeté sur la plaquette. 620TBR est conçu pour manipuler divers types de substrat, y compris des films industriels, des éléments polariseurs, des éléments de masque à rayons X et d'autres matériaux à couches minces. La machine est également capable d'aligner automatiquement plusieurs substrats les uns sur les autres avec une grande précision. EVG/EV GROUP 620TBR utilise une machine de contrôle avancée qui fournit des paramètres d'alignement définis par l'utilisateur et fournit des commentaires sur les résultats d'alignement. Chaque plaquette peut être surveillée individuellement à l'aide du logiciel de stockage de données de l'outil. La machine permet également aux utilisateurs de mettre en place un traitement par lots, ce qui permet de créer des plaquettes multiples avec des résultats cohérents et des demandes de temps réduites. EVG 620TBR dispose d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels que la possibilité de verrouiller la pince de la plaquette et un bouton d'arrêt d'urgence, qui permet aux utilisateurs d'arrêter rapidement toute opération en cas d'urgence. En outre, l'appareil est équipé d'une gamme de capteurs de sécurité qui surveillent activement l'environnement, assurant que toutes les conditions dangereuses sont évitées. EV GROUP 620TBR Mask Aligner est un outil idéal pour une variété d'applications, allant de la nanolithographie à la microélectronique. Outre sa précision et sa rapidité, son interface conviviale et ses caractéristiques de sécurité font de cette machine un choix efficace et fiable pour la recherche commerciale, industrielle et universitaire.
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