Occasion EVG / EV GROUP 640 #293744915 à vendre en France
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ID: 293744915
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
Mask aligner, 8"
Chuck
Mask holder
UV LED Light source
UV LED Matching chiller
Area light intensity uniformity: < 2.5%
365 nm 45 mW/cm2
405 nm 55 mW/cm2
Front and back alignment system: 5x Lens
Automatic transmission non-functional
Manual loaded and unloaded
2002 vintage.
EVG/EV GROUP 640 est un aligneur de masque très avancé et polyvalent conçu pour les procédés de photolithographie de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Outil crucial dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, EVG 640 offre une large gamme de capacités et de fonctionnalités qui le rendent idéal pour la fabrication de composants microélectroniques avancés avec une résolution nanométrique. Au cœur de EV GROUP 640 se trouve son équipement d'alignement optique sophistiqué, qui assure une superposition et un alignement précis des masques et des plaquettes de substrat lors du processus de photolithographie. Le système utilise des caméras à haute résolution, des algorithmes avancés de traitement d'images et des étages motorisés pour obtenir une précision d'alignement de sous-microns, essentielle pour la production de motifs semi-conducteurs complexes. L'unité comprend également des algorithmes logiciels intelligents qui permettent des procédures d'alignement automatisées, minimisant l'intervention de l'opérateur et réduisant le risque d'erreur humaine. La 640 présente une conception mécanique robuste et stable, avec une plate-forme isolée des vibrations et des mécanismes de contrôle du mouvement de précision qui assurent une exposition répétable et uniforme sur toute la zone du substrat. Cette stabilité est essentielle pour obtenir des résultats de lithographie cohérents et fiables, en particulier dans les processus complexes de traitement nécessitant de multiples étapes d'exposition. L'un des points forts d'EVG/EV GROUP 640 est sa flexibilité et sa capacité d'adaptation aux différents processus et applications de lithographie. La machine supporte une large gamme de tailles de substrat, des petites pièces aux grandes plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre, ce qui la rend adaptée à la R&D et aux environnements de production à haut volume. En outre, l'outil peut accueillir une variété de types de masques, y compris des masques chromés standard, des masques à décalage de phase et des masques à échelle grise, permettant aux utilisateurs de mettre en œuvre différentes techniques de lithographie adaptées à leurs besoins spécifiques. En outre, EVG 640 offre des fonctionnalités avancées pour l'optimisation et le contrôle des processus, telles que la surveillance en temps réel des paramètres d'exposition, les capacités de correction d'uniformité, et la compatibilité avec les systèmes automatisés de manutention des matériaux pour une intégration de production transparente. Ces capacités permettent aux utilisateurs d'obtenir des rendements de processus élevés, de réduire les défauts et d'améliorer les performances globales du dispositif. En termes de performances, EV GROUP 640 offre des résultats lithographiques exceptionnels avec une excellente résolution, une acuité de bord et une fidélité de motif, répondant aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. L'atout est capable d'atteindre des tailles de fonctions de sous-microns et des dimensions critiques de sous-100nm, permettant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe avec des fonctionnalités avancées. Au total, 640 représente une solution de pointe pour l'alignement des masques dans la fabrication de semi-conducteurs, combinant précision, polyvalence et fiabilité pour répondre aux exigences changeantes de l'industrie. Qu'il soit utilisé pour la recherche, le prototypage ou la production à grande échelle, EVG/EV GROUP 640 est un outil puissant qui permet aux fabricants de semi-conducteurs de repousser les limites de la technologie et de l'innovation dans le développement d'appareils électroniques de nouvelle génération.
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