Occasion EVG / EV GROUP 640 #9200558 à vendre en France
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ID: 9200558
Spare parts
Robot controller
Mercury lamp power supply
Shutter
Fly eye
Mirror
Lithography robot 2 (1 belongs to the 2nd machine, a spare part)
Photo lithograph bottom microscope
Mask holder
Lithography mirror and board
Pneumatic bar
Image acquisition
Control module
Cable.
EVG/EV GROUP 640 est un aligneur de masque avancé utilisé dans la technologie de fabrication microélectronique. Il est utilisé pour des procédés de lithographie, tels que pour exposer des coordonnées et d'autres motifs sur des plaquettes semi-conductrices et des substrats en verre. EVG 640 est adapté pour aligner et exposer une grande variété de substrats et dans différentes exigences de résolution. Il est multifonctionnel et peut effectuer à la fois des processus soustractifs et additifs, ainsi que des traitements multi-étapes. EV GROUP 640 peut atteindre une précision de résolution inférieure à 0,12 µm, ce qui le rend idéal pour la production de petites puces semi-conductrices, telles que DRAM et SRAM. Il peut également exposer de grandes surfaces à haute précision. Cela rend l'alignement bien adapté à une gamme de tailles et de formes, y compris pour des bosses et des vias de différentes tailles et des motifs précis. Son alignement uniforme, sa qualité d'exposition et sa longue durée de vie le rendent très fiable pour la production. L'alignement comprend un système d'alignement automatique et intégré qui utilise des techniques de reconnaissance de motifs pour capturer le motif exposé. Le système d'alignement combine des technologies avancées de guidage et de localisation et une variété de techniques différentes de déviation du faisceau pour fournir un alignement précis et cohérent. Les supports transparents de substrat permettent également l'alignement de topographie complexe pour des procédés avancés. 640 offre un débit maximum à faible coût. Des expositions rapides et des logiciels faciles à utiliser simplifient les opérations afin que les utilisateurs puissent se concentrer sur le développement et l'optimisation de leurs conceptions de produits. Il fournit également une plate-forme modulaire pour la personnalisation et peut être adapté à des applications spécifiques. En outre, EVG/EV GROUP 640 est équipé d'une gamme de caractéristiques de sécurité avancées. Cela comprend un système de sécurité avancé qui protège contre l'accès non autorisé et la manipulation, ainsi que des fonctions de surveillance et de contrôle qui fournissent en temps opportun des avertissements et des alertes au sujet d'un fonctionnement inapproprié et de conditions potentiellement dangereuses. Dans l'ensemble, EVG 640 est un alignement de masque puissant et polyvalent qui convient à un large éventail de besoins de production. Il offre une grande précision, une répétabilité rigide et des caractéristiques de sécurité robustes qui en font un choix idéal pour les utilisateurs recherchant des processus de lithographie fiables et efficaces.
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