Occasion EVG / EV GROUP EV 640R #9175004 à vendre en France
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ID: 9175004
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1998-2000
Mask aligners, 6"
7" Mask
Proximity / Soft contact / Hard contact
TSA & BSA
Automatic wafer handling
Disassembled tool:
Frame
Stage
Robot
Lamp house
Computer
(3) GENMARK Robots with prealigner
(3) 1kW Lamp controllers
(2) Light intensity probes
Printed documentation & manuals for both tools
1998-2000 vintage.
EVG/EV GROUP EV 640R Mask Aligner est un outil de pointe conçu pour fournir un alignement précis entre les substrats et les motifs de masque pour la production en grand volume de composants photoniques, électroniques et nanotechnologiques. EVG EV 640R peut être utilisé dans la production de semi-conducteurs, de MEMS et de NEMS, la lithographie optique, la fabrication de microfluidiques et d'autres procédés industriels axés sur les nanotechnologies. EV GROUP EV 640R Masque Aligner offre un alignement précis et de haute précision de substrats jusqu'à 6,4 « x 6,4 » avec une perfection limitée par diffraction combinée à une stabilité à long terme. EV 640R utilise deux moteurs orbitaux indépendants pour un positionnement optimisé et pour un alignement rapide et précis des substrats et des motifs de masque. Cela permet un traitement photolithographique peu coûteux où les caractéristiques de résolution les plus élevées peuvent être atteintes avec moins de temps et de consommation d'énergie. EVG/EV GROUP EV 640R est idéal pour les applications industrielles nécessitant des résolutions d'alignement des nanomètres. Le système utilise la détection optique auto-focus, fournissant une précision d'alignement automatique de 70nm et plus dans les processus de production. Outre un alignement précis du masque et des substrats, EVG EV 640R peut également être utilisé pour mesurer précisément la distance entre différents points des substrats. EV GROUP EV 640R utilise un algorithme de protection précis et fiable, ainsi qu'une reconnaissance d'alignement de motifs de haute précision. Ceci garantit que les motifs sur le substrat et les masques seront toujours congruents. Le système est également doté d'une technologie brevetée d'indexation et de nivellement pour une planarisation précise entre substrats et masques. En plus de la précision d'alignement, EV 640R dispose d'une large gamme d'options pour améliorer la productivité. Cela inclut un serrage automatique des plaquettes, une commande de faisceau de haute précision pour un recouvrement précis et une commande de vide optimisée pour une manutention douce des substrats souples. EVG/EV GROUP EV 640R offre des cadences de production rapides et une grande fiabilité. Sa grande surface de travail, sa conception évolutive et son passage rapide au masque font d'EVG EV 640R un équipement précieux pour les processus de production qui nécessitent un débit et une précision rapides. Le système est équipé d'un grand écran tactile et d'une interface conviviale, ce qui fait d'EV GROUP EV 640R un excellent choix pour ceux qui cherchent à améliorer leur efficacité de production.
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