Occasion HTG 36-3 #69873 à vendre en France

HTG 36-3 est un équipement d'alignement de masque conçu pour faciliter la lithographie de contact. Il s'agit d'un système en trois étapes composé d'un outil d'exposition, d'un outil de développement et d'un outil de polissage et d'alignement (PAT). L'outil d'exposition est conçu pour exposer le masque sur la surface de la plaquette. Il fonctionne en scannant le masque à un angle fixe de 36 degrés avec une lampe 1-kW Xe dont la sortie est focalisée sur un point de 13 microns sur la plaquette. L'outil de développement utilise ensuite un développeur hautement sélectif pour former les motifs désirés sur la plaquette. Le pH de la solution en développement est réglable pour atteindre la sélectivité souhaitée, et il est délivré à partir d'une unité Autosyringe avec un débit allant jusqu'à 2 millilitres par minute. L'outil dispose également d'une machine de climatisation d'entrée et d'échappement, et d'une plaque chauffante pour maintenir la température de la solution en développement. L'outil de polissage et d'alignement (PAT) est utilisé pour affiner et aligner les modèles formés par l'outil d'exposition et l'outil de développement. Il est équipé de deux têtes optiques pour deux systèmes d'alignement. Le PAT dispose d'un étage de travail chauffable, d'une table de substrat à épaisseur contrôlée et d'une caméra CCD pour l'observation d'images. Il utilise également un interféromètre laser et un contrôleur CNC pour positionner avec précision les masques par rapport au substrat. De plus, le PAT a une fonction de polissage qui lui permet d'éliminer les particules indésirables ou les couches d'oxydation pour assurer des motifs plus lisses. Dans l'ensemble, 36-3 est un outil fiable et efficace d'alignement de masque qui permet de former des motifs complexes sur une plaquette de silicium. Il est avantageux pour divers fabricants de dispositifs microélectroniques qui nécessitent un alignement précis des motifs de circuits.