Occasion KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9363766 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC BA 6 est un aligneur de masque de pointe utilisé pour la lithographie dans la fabrication de produits semi-conducteurs. Cet aligneur est un instrument de lithographie compact et efficace en taille, adapté à des procédés de mise en page de puces plus petits et complexes ou à des procédés de fabrication de plaquettes à plus haute résolution. Le masque aligneur fonctionne en fixant d'abord la taille de la disposition de la puce à exposer, puis un matériau de résine quartz-verre finement broyé est appliqué sur la surface de la puce. La résine quartz-verre est ensuite exposée à une bande passante UV de 0,2 micron avec une longueur d'onde de 193nm pendant que le masque est rapproché de la surface de la puce. L'aligneur du masque utilise alors ses systèmes avancés de positionnement et de déviation du faisceau pour déplacer le masque sur la puce. Le positionnement précis du masque est rendu possible par l'utilisation d'un contrôleur laser stable et d'un moteur linéaire à haute résolution, tandis que la déviation du faisceau assure l'application uniforme de la lumière UV sur toutes les régions de l'agencement de la puce. L'alignement MICROTEC BA 6 offre également une précision d'exposition élevée pouvant atteindre 1,0 um, ce qui permet une précision d'alignement de couche supérieure en raison du contrôle offert sur la taille des structures de disposition des puces. Cet aligneur est également capable de balayer des fréquences allant jusqu'à 1000Hz, ce qui le rend adapté à la fabrication à haut débit de masques. De plus, il est équipé d'une optique de zoom motorisée et d'un interféromètre laser Rayleigh pour une meilleure précision d'exposition. KARL SUSS BA 6 comprend également une multitude de fonctionnalités avancées conçues pour faciliter le processus de production. Ces caractéristiques comprennent une table de travail automatisée basée sur PLC, un système d'alignement à six axes et une capacité de gaufrage pour les couches de finition. De plus, cet alignement est accompagné d'un logiciel informatique puissant qui fournit une analyse détaillée de la mise en page de la puce qui est ensuite utilisée par les techniciens pour faciliter l'ensemble du processus de mise en page et d'alignement. Globalement, l'aligneur de masque BA 6 est un outil de lithographie de pointe utilisé dans la production de puces semi-conductrices. Il combine des capacités de positionnement haut de gamme et d'exposition à la lumière UV avec une multitude de fonctionnalités avancées afin de faciliter la production efficace et précise de dispositifs semi-conducteurs. La haute précision de la déviation du faisceau permet également un alignement précis de la disposition des puces, tandis que son haut débit de 1000Hz le rend adapté à un usage commercial.
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