Occasion KARL SUSS / MICROTEC M6000L #9012375 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC M6000L est un adaptateur de masque de production spécialement conçu pour les procédés avancés de lithographie à semi-conducteur. Il est doté d'un débit élevé, d'une polyvalence et d'un excellent contrôle des processus. MICROTEC M6000L utilise une étape de positionnement linéaire de haute précision et un équipement automatisé « enseigner et rejouer »/alignement, permettant un alignement précis entre le masque et la plaquette. Le système est programmé avec une interface graphique conviviale et intuitive, avec un algorithme puissant pour soutenir le développement de produits, l'ingénierie et les besoins de production. KARL SUSS M6000L offre une résolution de 1µm pour le positionnement et une précision d'alignement élevée de 6µm. Il soutient également l'utilisation des procédés de lithographie standard et avancés, y compris les UV profonds, le faisceau E et la ligne i. En outre, l'unité est conçue pour traiter de grands substrats jusqu'à 12 "de taille ainsi que des plaquettes standard 4" et 5 ". M6000L aligner dispose d'une machine de serrage automatique qui assure une liaison sûre et répétable entre le porte-substrat et l'outil. Un orifice de vide et une isolation de l'empreinte sous vide sont également inclus pour fournir une pression de vide adéquate pour le substrat lors des phases critiques d'exposition. KARL SUSS/MICROTEC M6000L fournit plusieurs fonctionnalités avancées qui permettent des processus de lithographie reproductibles et reproductibles. Ces caractéristiques comprennent l'environnement contrôlé par la température, le contrôle automatique de la mouillabilité au niveau du masque et du substrat, la surveillance du processus à l'aide de consommables de chambre et la surveillance à distance du processus d'alignement et d'exposition de la plaquette. L'atout comprend également une caméra numérique de capture d'image qui permet la surveillance de la focale pour garantir des performances d'imagerie haute résolution dans le motif exposé. MICROTEC M6000L est une solution de lithographie avancée et complète conçue pour assurer le développement optimal des matériaux semi-conducteurs avancés. Le modèle fournit aux utilisateurs un équipement de lithographie complet, permettant un débit élevé et des processus précis. Il peut aider les utilisateurs à obtenir une répétabilité, des performances robustes et des économies tout en fournissant des appareils de haute qualité.