Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293607936 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E est un aligneur de masque de précision utilisé pour la fabrication de dispositifs de niveau wafer avancé. Il a une résolution de 1 μ m et une uniformité basée sur un contrôle de procédé de 3 σ de 0,7 μ m. L'équipement est conçu avec une méthode d'alignement de superposition complète qui permet un alignement à grande vitesse, un changement de tâche in situ et un traitement avancé. Le générateur utilise cinq têtes avec une taille de pièce de 6 « ou 8 » qui est rapidement changée par un robot à changement rapide. Il a un CDA de 14 bits et un CAD de 13 bits avec un gain de 12.5dB. La précision d'étape et de répétition de la machine est de 0,2 μ m, et sa précision d'enregistrement est de 0,3 μ m. La taille du champ est réglable, avec une taille de champ minimum de 0,6 mm et un maximum de 200mm. Le contrôleur système de MICROTEC MA100E offre une programmation multi-produits sophistiquée, la capacité de définir plusieurs entrées de base de données de conception, et une base de données intégrée couvrant les produits dans la base de données de processus. Les données peuvent être saisies dans une base de données pour la production répétée. L'appareil offre une variété d'outils d'imagerie, y compris le piquage avancé du réticule, la mise au point de vision à grande vitesse, le piquage d'angle et le contrôle pratique de l'écran tactile. Il dispose d'un enregistrement d'alignement avec une unité de photo-masquage, qui offre un alignement rapide et précis sur une variété de substrats. Sa mécanique de haute précision supporte des structures avancées avec des rapports d'aspect élevés, et un autofocus pas à pas assure un transfert et un enregistrement précis des images. Sa machine de lithographie avancée permet un alignement de haute précision et l'exposition de petites structures sans avoir besoin d'échafaudage. KARL SUSS MA 100 E fournit des alignements rapides et précis, améliorant le rendement et le débit global. Son logiciel intuitif et facile à utiliser assure une fabrication de plaquettes de haute qualité et est capable de produire des images à très haute résolution. Avec ses performances de haute précision et sa base de données intégrée, il est un excellent choix pour la production de haut niveau dans la fabrication d'appareils.