Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185929 à vendre en France
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ID: 9185929
Mask aligner
Missing part: WEC
Damaged parts:
Mercury lamp controller
Sensor
Cold plate glass
Non-functional
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E est un aligneur de masque avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs de microfabrication. Le dispositif est conçu pour un alignement de haute précision des plaquettes, masques et substrats de silicium. L'alignement MA100 est constitué d'un sous-système optique de haute précision qui utilise la technologie d'alignement laser pour assurer un alignement précis de l'objet à usiner. Cela inclut les lasers de longueur d'onde variable, tels que l'ultraviolet (UV) et la lumière visible. Il comprend également un photomasque standard de six pouces et une précision d'alignement submicronique. La machine est capable d'effectuer une série de tâches dans un seul appareil, y compris, mais sans s'y limiter, des étapes de photolithographie, de broyage d'ions et de gravure d'ions. Grâce à sa technologie d'alignement optique de haute précision, il est également bien adapté aux tâches de dictage de plaquettes et d'architecture dans les dispositifs microélectroniques. Il permet également la coloration de motifs sur film de précision. Le MA100 a trois composantes principales : microscope optique d'imagerie, étage et systèmes de métrologie. Le microscope optique d'imagerie fournit une imagerie haute résolution des dispositifs en cours d'usinage, permettant à l'utilisateur de régler les écarts ou les désalignements. L'étage assure un déplacement précis du masque et du substrat, permettant un alignement précis du motif. Pendant ce temps, le système de métrologie est utilisé pour mesurer la position exacte et la précision d'alignement des dispositifs. Le MA100 a un certain nombre de caractéristiques supplémentaires, telles que plusieurs couches de profondeur de mise au point, permettant l'usinage simultané sur plusieurs couches. Il permet également de repositionner la plaquette lors de l'alignement, permettant à l'utilisateur d'optimiser le processus d'alignement. En outre, il a une fonction de stabilité du processus qui aide à minimiser les erreurs cumulatives pendant le traitement. Enfin, il comporte une fonction de sortie statistique permettant à l'utilisateur de suivre la progression du processus d'usinage. En résumé, MICROTEC MA100E est un aligneur de masque avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il utilise la technologie d'alignement laser pour fournir un alignement précis des plaquettes, masques et substrats, ainsi que pour permettre la coloration de motifs sur film de précision. Il fournit également une gamme de fonctionnalités supplémentaires, telles que la stabilité du processus et le suivi des erreurs, pour aider à assurer un processus d'usinage fluide et efficace.
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