Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185932 à vendre en France
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ID: 9185932
Mask aligner
Missing parts:
WEC
Microscopes
Spring arm
Flowmeters
Controller mercury
Mercury mirror group
Circuit board PCB26
Non-functional
Currently installed.
Le masque KARL SUSS/MICROTEC MA 100E est un équipement avancé de traitement des semi-conducteurs conçu pour l'alignement rapide et précis des motifs photolithographiques sur un substrat. Il est utilisé pour la fabrication de dispositifs complexes pour des applications telles que les écrans plats, les circuits intégrés et les systèmes microélectromécaniques (MEMS). L'aligneur dispose d'un système optique haute résolution très précis qui utilise la compensation de l'aberration chromatique (CAC) pour assurer une formation optimale de l'image. L'unité CAC offre une résolution améliorée pour les caractéristiques qui sont petites et difficiles à identifier et à aligner avec précision. MICROTEC MA100E offre des capacités de reconnaissance et d'alignement automatisés pour simplifier le processus d'alignement. Il utilise une combinaison unique de systèmes de vision laser et de mécanismes d'entraînement x-y de précision pour mesurer avec précision et interpoler les positions des bords de motifs. Cela garantit l'alignement précis dans un μm ou plus petit. La machine dispose également d'une machine d'entraînement à haute vitesse à axe Z avec une résolution de 40 microns, ce qui permet une exposition rapide des motifs sur des surfaces d'épaisseurs variables. Il a un champ d'exposition élevé qui peut accueillir des substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre. En outre, la machine dispose de commandes tactiles qui peuvent être programmées pour le fonctionnement automatique ou la commande manuelle. L'outil fournit également des systèmes intégrés de manutention des plaquettes, des fluides entièrement automatisés, des capteurs de proximité et un mandrin à vide pour faciliter un éventail de processus. KARL SUSS MA 100 E est compatible avec une gamme de temps d'exposition, de 10 à 500 secondes, et est compatible avec une grande variété de produits chimiques et de matériaux résistants. Pour les capacités avancées d'alignement des masques, KARL SUSS MA 100E est un choix idéal. Sa combinaison unique de fonctionnalités et de fonctions fournit la solution idéale pour créer des appareils complexes avec une précision exceptionnelle.
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