Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185933 à vendre en France
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ID: 9185933
Mask aligner
Missing parts:
Microscopes
Spring arm
Mercury controllers
Flowmeters
WEC
Chuck
Mercury mirrors
Circuit board PCB26
Non-functional
Currently installed.
MICROTEC MA {KARL SUSS Autoaligner) 100E est un aligneur de masque spécialement conçu pour la lithographie au niveau des plaquettes. L'équipement utilise des sources lumineuses UV profondes (DUV) avec une longueur d'onde d'exposition de 365nm et a une taille maximale de plaquette chargeable de 200mm. Ce système est idéal pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs, y compris la production de photomasques et de réticules. KARL SUSS/MICROTEC MA 100E utilise une technologie de scène X/Y alignée à l'air qui fournit un alignement précis et une haute résolution, ce qui le rend adapté aux environnements de production haut de gamme. MICROTEC MA100E a une résolution de 2,5 µm dans les directions x et y, avec une précision de 2-5 µm et une précision d'axe Z de 25 nm. Son alignement et sa focalisation très précis garantissent des motifs de résolution submicroniques avec un haut degré de précision et de répétabilité. Cette précision d'alignement est rendue possible par la mise en oeuvre d'une unité d'alignement optique automatisée avec une conception de lentille télécentrique. KARL SUSS MA 100 E est équipé d'une interface conviviale complète qui permet aux utilisateurs de configurer et de surveiller rapidement et facilement les processus d'alignement. L'interface graphique intégrée de Windows est intuitive et facilite l'intégration de recettes automatisées pour plusieurs applications. Il offre également la configuration DICOM (Digital Imaging and Communications in Medicine) avec alignement basé sur l'image pour placer les motifs à l'emplacement précis par rapport à la plaquette. MICROTEC MA 100 E a également un débit maximum élevé de 1500 wafers/heure, ce qui en fait un excellent choix pour les applications de production à haut volume. Il offre également une machine de refroidissement avancée en option conçue pour réduire le risque de distorsion thermique lors de la lithographie. MICROTEC MA 100E est également respectueux de l'environnement. Il utilise un outil de contrôle environnemental et de refroidissement du flux d'air pour réduire le niveau de bruit et l'impact environnemental général pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E Masque Aligner est un aligneur de masque idéal pour la fabrication d'appareils précis et fiables, spécifiquement pour la production de photomasques et de réticules. Ses capacités d'alignement et de focalisation précises, son atout d'alignement optique avancé et son débit élevé en font un excellent choix pour les applications de production haut de gamme.
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