Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185938 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E est un support de masque de photolithographie ultraviolet (UV) utilisé pour fabriquer des circuits intégrés, des structures mécaniques fonctionnelles et d'autres structures 3D utilisant des techniques de micro et nanofabrication. L'équipement offre la plus haute précision de photolithographie UV disponible, avec une surface de travail de 5 po. x 8 in. Il est adapté à un large éventail d'applications industrielles et académiques. MICROTEC MA100E possède deux sources de lumière laser de 540 nm CW (6W et 4W). Un compteur de puissance optique assure des réglages précis du niveau de puissance. Les composants sont logés dans un boîtier thermo-blindé pour la stabilité et la durabilité. Le système comporte également un étage mobile pour positionner avec précision le substrat par rapport à la plaque de masque à résolution mm. L'étage motorisé à trois axes a une résolution de 0,1 um et une vitesse maximale de 2000 um/sec. L'unité présente plusieurs caractéristiques avantageuses telles que l'enregistrement automatique de masque, des aberrations de caractéristiques peu constantes, une faible dérive thermique, des images à haute définition et une correction de chevauchement améliorée. KARL SUSS MA 100 E est également équipé d'une interface de contrôle HMI avec un panneau tactile offrant jusqu'à 8 étapes de programmation pour une répétabilité précise. L'opérateur peut ajuster des paramètres tels que le temps d'exposition, le nombre de répétitions et l'alignement, y compris l'alignement des masques, l'alignement XY et l'alignement des répétitions. KARL SUSS MA100E utilise un photomasque UV pour générer jusqu'à 256 faisceaux de lumière d'un diamètre de faisceau circulaire de 6um. La projection maximale de l'image sur le substrat est ± 5 mm sur les axes X et Y pour une résolution maximale de 0,5 mm. La machine est également capable de graver le plasma pour effectuer des prélèvements précis. L'outil peut générer un large éventail de structures, des caractéristiques à l'échelle du nanomètre à l'échelle du micromètre. Enfin, KARL SUSS/MICROTEC MA100E est également équipé d'un masque protecteur en aluminium qui bloque toute lumière UV parasite pouvant endommager des matériaux sensibles. L'actif a également des caractéristiques de sécurité, y compris un interrupteur clé, la détection de mouvement et un obturateur UV. En résumé, MICROTEC MA 100E est un aligneur de masque de photolithographie UV avancé avec des caractéristiques avancées telles que l'enregistrement automatique du masque, les aberrations à basse constante, la faible dérive thermique, les images haute définition et la correction accrue des chevauchements. Le modèle est un excellent choix pour créer des motifs précis sur différents substrats.