Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278299 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner est un système de photolithographie tout en un, conçu pour diverses applications micro-électroniques telles que la micro-fabrication, la nano-fabrication et les systèmes microélectromécaniques (MEMS). L'unité est un système automatisé, capable de modeler les caractéristiques de surface avec la résolution spatiale dans la gamme micron et nanomètre. Il dispose d'une interface utilisateur graphique (interface graphique) facile à utiliser avec un grand écran tactile de 11,6 pouces, permettant de contrôler les micropositionneurs et les paramètres de l'appareil. Le contrôleur est équipé de quatre degrés de liberté, permettant un alignement et une lithographie de grande précision. Le système optique du porte-masque a une fonctionnalité autofocus, assurant la précision de l'alignement avec le masque à moins de 2 μ m. La source lumineuse est un tableau LED avec une luminance maximale de 31000 mW/m2 et une uniformité réglable de 80 % ou mieux. La source lumineuse offre une variété de longueurs d'onde, y compris la gamme verte, bleue ou ultraviolette pour diverses applications. En outre, l'outil dispose d'un contrôle d'intensité variable pour mieux contrôler l'exposition. L'étage de lithographie peut accueillir des plaquettes ou des substrats jusqu'à 150 mm de diamètre, avec des adaptateurs de 2 pouces et 4 pouces pour les substrats plus petits. Il est équipé d'un mécanisme de hucking sous vide pour assurer la plus grande précision lors de l'alignement et de l'exposition. Un plateau de matériaux exposés est disponible pour les résines sèches et hydrosolubles. Le temps écoulé du processus peut être surveillé à l'aide d'un chronomètre en temps réel passé. Enfin, le dispositif dispose également d'une répétabilité maximale de 1,5 μ m et d'une précision de couture de 0,5 μ m. La construction robuste, la flexibilité et la précision de MICROTEC MA100E Mask Aligner en font un outil idéal pour les applications les plus avancées en micro- et nano-fabrication.