Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278360 à vendre en France
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Vendu
ID: 9278360
Mask aligner
Missing / Damaged parts:
UPS
Mercury lamp controller
2011 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E est un aligneur de masque conçu pour faciliter l'alignement par contact de motifs de masques photolithographiques de haute précision sur des plaquettes semi-conductrices. L'équipement est extrêmement précis, avec la capacité d'enregistrer jusqu'à une précision de trois microns ou moins. De plus, l'alignement du masque est capable d'être aligné à une surface de 40 mm x 40 mm et est suffisamment précis pour que les bords de la marque soient alignés avec une précision de trois pour cent. MICROTEC MA100E utilise un système optique qui comprend un étage motorisé et une tête via un positionneur XY. Les étages de tête/XY de KARL SUSS MA 100 E utilisent des moteurs pas à pas puissants et des codeurs en verre qui permettent une résolution de 5 nanomètres dans le plan XY. Ceci permet un alignement précis du substrat cible avec le masque modelé. MA 100 E est également capable de scanner des motifs automatisés et dispose d'une unité d'optique Power Zoom qui peut zoomer de 4x à 16x. La machine peut lire jusqu'à 16 niveaux sur une seule filière à haute résolution afin d'aligner avec précision les détails du motif. En plus de ses capacités d'alignement précises, MICROTEC MA 100E offre également un certain nombre d'autres fonctionnalités conçues pour rendre la fabrication de semi-conducteurs plus efficace. Le masque aligneur dispose d'un circuit de temporisation capacitif qui permet un timing précis de l'exposition. KARL SUSS MA 100E offre également un obturateur automatique qui peut être activé pour éviter que la plaquette ne soit exposée en cas de dysfonctionnement. Le masque aligneur est également équipé de chauffages indépendants et d'un logiciel intégré de reconnaissance des motifs. Globalement, le masque KARL SUSS MA100E est un outil puissant et précis pour aligner les masques de photolithographie sur les substrats semi-conducteurs. Les moteurs pas à pas et les codeurs en verre de l'outil permettent un alignement précis avec une résolution de 5 nanomètres dans le plan XY. En outre, MICROTEC MA 100 E comprend plusieurs fonctionnalités supplémentaires telles qu'un circuit de temporisation capacitif, un obturateur automatique et des dispositifs de chauffage indépendants, ce qui en fait un outil puissant et polyvalent pour l'industrie de la production de semi-conducteurs.
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