Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9389780 à vendre en France

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ID: 9389780
Style Vintage: 2011
Mask aligner Damaged parts: UPS Mercury lamp controller 2011 vintage.
Le masque KARL SUSS/MICROTEC MA 100E est un appareil de haute précision et économique conçu pour diverses utilisations, y compris la photolithographie, l'optoélectronique à semi-conducteur et l'optique. Il automatise les tâches d'alignement et d'exposition des masques sur les substrats tout en utilisant des fonctionnalités logicielles et matérielles sophistiquées. MICROTEC MA100E est équipé d'un mandrin à vide pour maintenir le substrat solidement en place et d'un étage biaxe de haute précision. Il présente une résolution maximale de 10 µm et une répétabilité de 5 µm. KARL SUSS MA 100 E est construit avec une lampe halogène UV intense, qui fournit des caractéristiques de tailles allant jusqu'à 3 µm. Le système intégré d'auto-alignement basé sur la caméra permet aux utilisateurs d'utiliser des marques d'alignement basées sur l'image, tandis que les capteurs intégrés permettent aux utilisateurs d'effectuer des corrections d'alignement haute précision et à grande vitesse. Le dispositif offre également une détection automatique de la focale, assure des résultats reproductibles et offre une résolution et une précision de fonctionnalité inexpliquées pour les applications de photolithographie de haute précision. L'étage XY intégral permet des tailles de masque et de substrat jusqu'à 100mm. L'étage intègre un système de motorisation linéaire robuste et à faible vibration de qualité industrielle avec une répétabilité en boucle ouverte de 0,5 μ et 25 μ m. Les vitesses moteur lente et rapide peuvent être réglées pour un alignement de précision et pour une vitesse d'étage optimisée, respectivement. La vitesse du moteur rapide peut être réglée jusqu'à 200mm/s, tandis que la vitesse du moteur lent est jusqu'à 1mm/s. KARL SUSS MA 100E dispose également de débits optiques, fluidiques et électriques, permettant le transfert de la résine photosensible avec un minimum de contamination, et la compensation de la diaphonie en boucle fermée pour éliminer les erreurs de mouvement du substrat global. MA 100E est équipée d'une console d'exploitation ergonomique, permettant aux utilisateurs de contrôler l'unité avec une interface clavier simple. L'affichage à l'écran garantit la facilité d'utilisation, tandis que les outils de diagnostic intégrés permettent un dépannage rapide et la résolution de problèmes. KARL SUSS/MICROTEC MA100E est programmé avec une grande variété de fonctions avancées qui automatisent le processus d'alignement, d'exposition et de contact pour une grande variété de substrats, y compris les plaquettes de silicium, le quartz, le niobate de lithium, le polyimide et la céramique. La fonction de nettoyage automatique permet d'éliminer efficacement la solution de nettoyage résiduelle, ce qui réduit le temps de contact sur les zones critiques et accélère les temps d'échange masque/substrat. Enfin, l'appareil dispose de fonctions de sécurité complètes, y compris un obturateur de sécurité halogène et un balayage de classe de sécurité 1 certifié CE. MA 100 E est un aligneur de masque avancé et fiable qui est conçu pour minimiser le temps de programmation, minimiser les déchets causés par un alignement imparfait, et maximiser la précision et le débit pour une large gamme d'applications de photolithographie et d'optoélectronique.
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