Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 12 #293808783 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC MA 12 est un aligneur de masque utilisé en photolithographie pour transférer des structures de motifs à haute résolution. Il dispose d'un équipement automatisé de manutention de plaquettes capable de supporter des plaquettes de 25mm à 200mm avec un mandrin à vide élevé pour un alignement précis. C'est un outil d'exposition programmable qui fonctionne facilement avec son interface graphique utilisateur intuitive. Il a une plage d'accordabilité en longueur d'onde qui peut capturer une large gamme de longueurs d'onde depuis le proche infrarouge (NIR) jusqu'aux sources de lumière ultraviolette (UV). MICROTEC MA 12 dispose d'une commande de positionnement précise avec des axes X, Y et Theta pour assurer un alignement précis du motif sur la plaquette. Il dispose d'une optique de projection avancée avec une ouverture numérique de 0,28 et une unité d'imagerie optimisée pour assurer une qualité d'image optimale. De plus, il dispose d'une sélection automatique de la meilleure exposition pour le champ balayé et d'une machine de réglage de focalisation intégrée pour une profondeur de focalisation réglable. La principale caractéristique avancée de KARL SUSS MA 12 est son contrôle de l'exposition partielle dose-dépendante. Cette caractéristique permet une résolution des motifs sous microns et est utilisée pour le traitement de haute précision de plusieurs couches. Il offre également un réglage d'épaisseur de couche programmable et une utilisation autonome basée sur la recette pour une variété d'applications. Cette caractéristique permet de définir de manière fiable des structures fines et de haute précision pour des applications telles que la lithographie et la nano-impression. Les autres caractéristiques comprennent la manipulation répétable de masque avec son outil de navette automatisé, obturateur télescopique et porte-film programmable, et un actif sous vide intégré. Il comporte également deux systèmes de chauffage, l'un pour la température de base et l'autre pour la régulation de température du masque et de la plaquette. De plus, l'option d'alignement du scanner dans le logiciel peut être utilisée pour affiner la précision d'alignement. MA 12 est un alignement de masque amélioré qui peut être utilisé pour différents types de processus photolithographiques. Il a des performances exceptionnelles, haute précision et répétabilité, le rendant parfait pour des processus de précision complexes et complexes. L'interface graphique intuitive et plusieurs fonctionnalités automatisées le rendent facile à utiliser et à entretenir. La flexibilité et la précision de KARL SUSS/MICROTEC MA 12 en font un outil précieux pour les applications industrielles, de recherche et universitaires.
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