Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9105740 à vendre en France
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ID: 9105740
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
Mask aligner, 6"
Pattern recognition
CIC 1200
UV 400 optics
1000 Watt lamp housing
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Masque Aligner est un outil de photolithographie automatisé de pointe. Il est idéal pour le traitement de petits appareils avec des géométries complexes. En particulier, MICROTEC MA150CC est adapté pour les appareils de taille comprise entre 1 mm et 150 mm. Des caractéristiques telles que l'étalonnage automatique des outils, la précision d'alignement répétable et l'imagerie haute définition en font un choix idéal pour produire des photorésistes de ligne fine sur une variété de plaquettes de 0,75 pouce à 6 pouces de diamètre. KARL SUSS MA 150CC se compose d'une plate-forme intégrée comprenant une source lumineuse, une chambre de wafer, un moteur pas à pas et des composants optiques et mécaniques de précision. La source lumineuse produit le rayonnement UV nécessaire à l'exposition des photorésistants. Il comprend une lampe à arc au mercure intégrée pour une puissance élevée ainsi qu'une lumière à incandescence pour l'inspection visuelle. La chambre à plaquettes est une chambre à quartz de précision avec une grille de 100 mm et un dépôt de film Langmuir-Blodgett, ce qui permet un revêtement uniforme de la plaquette. De plus, la chambre est équipée d'un évent pour contrôler l'atmosphère. Le moteur pas à pas est conçu pour fournir une précision de positionnement microscopique précise, ce qui minimise le désalignement des dimensions critiques. Le pas est conçu avec une précision de point de rotation de 1 mm, ce qui est critique pour l'exposition des photorésistes. En outre, cet équipement de pointe comprend un logiciel d'alignement intégré pour un alignement précis du masque et du substrat. Le système comprend également une unité de surveillance de l'alignement afin de maintenir la précision pendant l'exposition. De plus, MICROTEC MA-150CC fournit une imagerie haute définition avec une résolution inférieure à 0,25 microns. Cela fournit une meilleure définition de l'imagerie et des motifs sur les niveaux les plus critiques de l'appareil. KARL SUSS MA-150CC dispose également d'une capacité avancée d'automatisation robotique, lui permettant de filtrer, d'aligner et de transférer des plaquettes à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre d'exposition. En outre, la machine permet un passage rapide, offrant des niveaux constants de qualité et de performance. Dans l'ensemble, MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner est un outil de photolithographie avancé qui offre des performances supérieures. Il est bien adapté pour produire des photorésistances haute définition et fine ligne sur une variété de substrats, et sa machine d'automatisation intégrée fournit des niveaux constants de qualité et de performance. La machine peut manipuler des plaquettes de 0,75 pouce à 6 pouces de diamètre et fournit une excellente précision et précision avec une résolution inférieure à 0,25 microns. Toutes ces caractéristiques font de KARL SUSS MA150CC un choix idéal pour produire des appareils complexes aux géométries complexes.
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