Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9229272 à vendre en France
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Vendu
ID: 9229272
Mask aligner
Power supply: CIC 1200
PC Type: DSM-P233 MMX
Relay interlock box
TSA camera: XC-50
TSA objectives: 5 x / 0.15, 10 x / 0.30, 20 x / 0.40
BSK microscope: 520R Rechts / Right
BSA-Camera 264537 Rechts / Right
Cognex 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400
Prealigner
Prealigner sensor head: SI / GAAS / INP
Mask holder
Chuck
Main microcontroller:
Input card: 260PC105-05
Input card: 260PC113-01
D/A Cov DVM²: 260PC102-05
Parallel input / Output exp BSA: 260PC103-03
Valve driver: 260PCPC103-01
Funnel prealigner: 260PC129-02
Manipulators: 260PC116-01
D/A Conv DVM BSA: 260PC102-05
Motor driver DVM²: 260PC109-02
Elevator right: 260PC119-01
Elevator left: 260PC119-01
Microscope x-motor: 260PC119-03
Mask x-motor: 260PC156-04
Microscope y-motor: 260PC119-03
Mask y-motor: 260PC156-04
Microscope motor: 260PC119-03
Mask motor: 260PC156-04
Z-Axis: 260PC119-03
Wafer transfer: 260PC126-03
4 Channels A/D card MOM: 260PC176-03
CPU MOM: 260PC105-16
Stage driver MOM: 260PC168-06
Valve driver 3CB: 260PC104-01
Power supply standard: 260PC124-02
Power: 230 V
Lamp: 350 Watt bulb
2002 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC est un aligneur de masque de haute précision utilisé dans la fabrication de dispositifs nanostructurés ou microfabriqués tels que puces semi-conductrices, capteurs et systèmes nano-électromécaniques (NEMS). L'aligneur est capable d'aligner différents masques entre eux avec une précision allant jusqu'à un nanomètre. Il utilise un équipement optique proche du champ qui est couplé à un étage de haute précision pour obtenir un alignement extrêmement précis. Ce système permet également l'alignement de masques multiples en succession rapide. MICROTEC MA150CC offre une variété de fonctionnalités pour s'assurer que chaque nouvel appareil est bien positionné et prêt pour le traitement lithographique. En utilisant l'espace de travail personnalisable de l'unité, l'algorithme de correction sur l'axe et le balayage automatisé des plaquettes pour améliorer la précision de l'appareil, cet alignement de masque offre des niveaux inégalés de précision et de répétabilité. En outre, la machine peut détecter tout désalignement involontaire de la plaquette, permettant aux utilisateurs de faire des corrections sans avoir à arrêter l'ensemble du processus. L'outil KARL SUSS MA 150CC est équipé d'une commande à ouverture variable pour s'assurer que seule la zone désirée est exposée pendant le processus lithographique. Sa fonction de centrage optique automatisé minimise le besoin de réglage manuel, tandis que sa commande précise du mouvement de l'étage garantit que le mouvement de l'étage est précis et répétable. En outre, sa chambre à température élevée assure la stabilité de la température lors des procédures de lithographie. En plus de ses excellentes performances d'alignement, KARL SUSS/MICROTEC MA150CC est également une solution précieuse pour les processus de production à haut volume. Cet atout est capable de manipuler plusieurs plaquettes en même temps, permettant aux utilisateurs de maximiser le débit et de minimiser l'espace. Il prend également en charge une variété de processus avancés de photolithographie, y compris Deep UV, IC Scope et Step & Scan. Dans l'ensemble, KARL SUSS MA-150 CC est un puissant aligneur de masque de haute précision qui offre aux utilisateurs une précision et une répétabilité inégalées pour la fabrication d'appareils nanostructurés et microfabriqués. Avec des fonctionnalités telles que la correction sur l'axe, le balayage automatisé des plaquettes et le contrôle à ouverture variable, ce modèle offre une solution optimale pour les processus de production à haut volume.
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