Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M/BSA #9268269 à vendre en France
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ID: 9268269
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 1996
Mask aligner
UV 400 Exposure optics
Light intensity sensor: 320/405 nm
W-100 / W-150 Mask holder
Topside microscope:
Type: DVM 6
Objectives: NPL 5x / L 25x
Bottom side microscope:
Magnifications: 110 / 330
Resolution: 2.4 µm
Proximity, 4"
Ball diameter: 2000 µm, 1998 µm, 1998 µm
Exposure illumination:
Area, 6"
Lamp: 1000 Watt
Position:
Fly eye: 5 mm
Condenser: 38 mm
Lens plate 1: 69 mm
Lens plate 2: 90 mm
1996 vintage.
MICROTEC MA 150 M/BSA est un aligneur de masque (MA) qui est utilisé dans la fabrication de microstructures d'ingénierie. Cette technologie de pointe est utilisée pour aligner des motifs de masque de film mince sur les surfaces du dispositif des plaquettes semi-conductrices avec une très haute précision. La MA 150 est conçue avec des caractéristiques avancées, permettant la production de produits de haute qualité et fiables avec des résolutions très fines. Le MA 150 utilise un équipement optique binaire breveté pour aligner les masques avec des caractéristiques aussi fines que 2 µm. Les masques peuvent être alignés dans n'importe quelle direction avec une précision de 1 µm. Le masque est maintenu en place par un vide et est facilement aligné avec un étage de précision semi-automatisé. Le système comprend également un alimenteur automatisé capable de délivrer jusqu'à 2 plaquettes par seconde à l'étage d'alignement. KARL SUSS MA 150 peut être utilisé pour des procédés de photolithographie tels que l'alignement des photomasques, l'exposition, le développement, le nettoyage et les étapes de post-traitement. Il utilise une unité optique binaire optimisée à haute résolution avec une ouverture numérique supérieure à 0,45. La précision de positionnement est améliorée par l'utilisation de capteurs de mesure de déplacement qui sont installés dans les deux directions avant chaque exposition. Le MA 150 est également équipé d'un microscope à vue directe intégré. Cela permet aux opérateurs de visualiser le motif sur la surface d'application, ainsi que la précision d'alignement. Cette fonctionnalité est rendue possible grâce à une optique avancée qui permet de visualiser l'image sans distorsion. KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M/BSA est une solution fiable et précise pour la photolithographie qui peut aider à assurer la production de microstructures de haute qualité. Les caractéristiques avancées et la conception de la machine permettent un alignement précis du masque avec une précision de position améliorée, tandis que le microscope à vue directe offre des capacités de contrôle et de surveillance supplémentaires. Cela fait de la MA 150 M/BSA un choix idéal pour ceux qui cherchent à produire des produits hautement fiables avec une répétabilité supérieure.
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