Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9149625 à vendre en France
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ID: 9149625
Taille de la plaquette: 6"
Mask aligner, 6"
Top side only
No wafer cassettes
One wafer at a time
PC with solid state drive
15" Touchscreen
1000 Watt Lamp house
UV400 Diffraction reducing optics
365nm / 405nm internal sensor
SUSS CIC1000 Constant intensity power supply
SUSS DVM 6 Dual video microscope
5x, 10X and 25X Objectives with turret
SUSS AL300 Large gap alignment system
Proximity, soft, hard and vacuum contact capable
Pneumatic tubing throughout the machine
Standard alignment chuck
Standard maskholder.
KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M est un aligneur de masque de précision développé par MICROTEC utilisé pour fabriquer des micropuces. Il est capable de produire diverses caractéristiques et alignements, y compris des microvias, des bus à haute résistivité (< 200nm) et un montage de flip-chip. MICROTEC MA 150M est conçu pour répondre aux exigences spéciales des processus avec une précision de haute précision. La conception comprend un champ de travail motorisé, qui permet un alignement fin et un positionnement reproductible, ainsi qu'une lecture numérique qui affiche la position exacte. L'unité est également équipée d'un équipement de projection optique moderne et de systèmes de détection sophistiqués pour assurer la précision. Ceci permet un alignement précis du côté arrière et/ou avant d'un masque avant la mise sous tension de la micropuce. Le système peut accueillir des masques automatisés jusqu'à 6 "ou 150 mm avec une précision de tolérance de ± 2 μ m KARL SUSS MA-150M est conçu pour rendre le temps de fabrication plus court et plus facile. D'autres options de processus comprennent des alignements de superposition et de grossissement de sous-pixels, et un axe Z linéaire programmable pour tenir compte de différentes épaisseurs de matériaux. L'interféromètre laser intégré permet de maintenir la précision d'alignement et la répétabilité les plus élevées. La conception avancée de MA-150M permet une installation rapide et facile de l'unité, en utilisant le centre de contrôle graphique basé sur PC. Les systèmes de caméras intégrés supportent un alignement manuel précis, avec des options pour la métrologie et un alignement assisté par vision pour les processus automatisés. La machine a également une robustesse améliorée, avec une protection IP67-compliant contre la poussière et les éclaboussures d'eau, ainsi qu'une protection ESD. MA 150 M est idéal pour les applications industrielles et universitaires. C'est un excellent choix pour créer tout, des conceptions numériques simples aux plus complexes, comme les dispositifs d'empilage 3D. L'unité est capable de manipuler divers matériaux, dont le cuivre, les métaux, l'eutectique, le polyimide et le silicium. Il est conçu pour répondre aux exigences de production avec autant de précision que nécessaire.
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