Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293695701 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner est un équipement photo-lithographique de haute précision conçu pour aligner et exposer avec précision les masques photo-résistants aux substrats afin de modeler les circuits intégrés. MICROTEC MA150 dispose d'une table de substrat d'une taille maximale de 4 « x 4 » qui supporte des substrats rigides comme le silicium, le verre, le quartz et le diélectrique ainsi que des substrats souples comme le chlorure de polyvinylidène (PVDF), le polyuréthane et le polyester. L'alignement comprend également une cassette de masque qui peut contenir jusqu'à quatre masques de 4 « x 4 » et un porte-masque avec un mandrin à 5 positions entraíné par un engrenage pour le chargement/déchargement automatique du substrat. Pour assurer des alignements précis et reproductibles, KARL SUSS MA 150 a un étage motorisé d'alignement à trois axes qui est entraîné par des codeurs linéaires et a une précision de positionnement allant jusqu'à 0,1 µm. Il comprend également un système auto-focus avec trois objectifs : 4X, 10X et 20X qui offrent ensemble un magnifique champ de vision de 50 microns. L'unité optique de l'aligneur a une résolution interpixel de 0,2 µm, un temps d'exposition variable de 200ms à 10000ms, une puissance LED de 9mW/cm2, et une plage d'exposition allant jusqu'à 8J/cm2. MA-150 masque aligner utilise une technique de micro-balayage synchro linéaire pour exposer le substrat avec une longueur de ligne minimale de 1 µm. Il est adapté aux photorésistances UV, Near-IR et E-beam et dispose d'une machine de contrôle avant automatisée qui peut simplifier le fonctionnement et est compatible avec DOS, UNIX et les plates-formes Windows. L'outil offre un sous-système sous vide de haute précision pour la manipulation et l'alignement des substrats à l'aide d'un outil de contrôle de mouvement programmable par l'utilisateur. MA150 Mask Aligner est une solution de photolithographie fiable, efficace et rentable qui peut être utilisée pour la recherche de plaquettes, l'aplatissement de micro-bosses, l'écriture UV à haut rapport d'aspect, la lithographie auto-couleur RGB, ainsi que d'autres processus de microfabrication. Avec sa construction robuste et son modèle d'exploitation intuitif, il est un outil idéal pour le prototypage rentable et la production pilote.
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