Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293775032 à vendre en France
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ID: 293775032
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
Mask aligner, 6"
Cassette to cassette
Automatic wafer handling system
Lamp house: 1000 W (Hg) with CIC1000 Power supply
OSRAM 1000 with lamp
Pre-alignment
Semi-automatic front side alignment
Joystick controller
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 est un aligneur de masque avancé de haute précision avec un faible coût de possession, ce qui le rend idéal pour les laboratoires de recherche et développement, ainsi que pour les universités et les petites installations de production. MICROTEC MA150 fournit un contrôle précis de l'alignement avec un logiciel facile à utiliser, permettant un ajustement rapide des paramètres critiques pour compenser les imprécisions dans le placement du masque et/ou le désalignement du substrat. KARL SUSS MA 150 utilise des masques et substrats pré-alignés pour les aligner rapidement et avec précision sans aucune intervention de l'utilisateur. La précision de l'alignement est déterminée par deux vis micrométriques et le réglage précis d'un étage réticulaire, permettant à l'équipement de produire un alignement précis et des erreurs d'enregistrement minimales. De plus, KARL SUSS/MICROTEC MA 150 est capable d'un alignement répétable sur un large éventail de substrats, y compris des plaquettes de 4 pouces et 6 pouces, du verre et des films minces. Le système d'alignement des masques dispose également d'un étage de portage d'air qui fournit un mouvement linéaire exceptionnellement lisse, ce qui se traduit par une précision accrue et une répétabilité précise. Un contrôleur à microprocesseur intégré est utilisé pour contrôler avec précision et de façon répétée le mouvement de l'étage réticulaire et pour obtenir des résultats Drange aussi précis que possible. MICROTEC MA-150 dispose également d'une unité de visualisation haute résolution avec reconnaissance automatique d'image et capacité d'autofocus, permettant à la machine d'alignement de masque de reconnaître rapidement et précisément les caractéristiques sur les masques et les substrats. Cet outil comprend également plusieurs fonctionnalités logicielles qui permettent aux utilisateurs d'ajuster manuellement les réglages positionnels et angulaires effectués par l'actif. Cela garantit que les utilisateurs obtiennent la meilleure précision possible du modèle. KARL SUSS / l'Équipement d'Alignement de Masque de MICROTEC MA150 peut être livré avec un plein complément d'accessoires, le fait d'inclure le vide intégré jette, les arcs de gaufrette, substrates chauffé Chuck, substrate les entretoises, aussi bien qu'un au-dessus monté 175W Ellipsometer pour la mesure de métrologie optique avancée. Ce système avancé d'alignement de masque est conçu pour répondre aux besoins exigeants des applications de recherche et de production et peut être intégré avec une variété de composants d'unités supplémentaires pour des niveaux de performance encore plus élevés.
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