Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293822128 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 est une optique binaire, équipement d'alignement de contact conçu pour fournir un alignement précis du masque et de la plaquette pendant la lithographie. Ce système est particulièrement utile lorsque les caractéristiques fines sont essentielles à l'application. L'unité offre un alignement reproductible et précis de 0,25 micron caractéristiques ou mieux. MICROTEC MA150 utilise une technique d'alignement de focalisation qui détecte à la fois le foyer de la machine optique et les positions relatives des deux composants. L'outil d'alignement est composé de trois composants : un actif de projection optique, un étage de plaquette réglable et un étage de masque fixe. Le modèle de projection optique a été conçu pour fournir une focalisation fine du faisceau afin de mieux résoudre les alignements de motifs. Il a également une gamme de lentilles qui minimisent la distorsion et réduisent la courbure de champ pour assurer un alignement optimal des motifs. L'étage wafer de KARL SUSS MA 150 est fixé à un étage XYZ à faible intensité. Ceci permet de déplacer les axes X, Y et Z pour un positionnement précis de la plaquette par rapport au masque. L'étage XY de MA 150 est entraíné par quatre moteurs pas à pas, permettant le positionnement précis de la plaquette. L'étage de masque fixe est conçu pour assurer que le masque reste en position fixe pendant les opérations d'alignement. Il a une grande surface pour accueillir des masques plus grands et une hauteur élevée pour minimiser les obstructions typiquement causées par le cadre de masque. L'étage de masque KARL SUSS MA-150 est pré-équipé d'une plate-forme porte-air pour assurer un positionnement stable du masque lors des opérations d'alignement. KARL SUSS MA150 fournit un équipement de visualisation haute résolution qui utilise un port de visualisation fixe et une caméra. Cette caméra fournit à l'opérateur des images stéréographiques, permettant des réglages précis et des corrections au système d'alignement. La MICROTEC MA 150 possède également un certain nombre de dispositifs de sécurité pour la protéger de la contamination, ce qui réduit les risques de dommages à l'unité et aux composants. Ces caractéristiques de sécurité comprennent un couvercle de poussière pour l'étage de masque pour empêcher la poussière d'entrer dans le champ de vision, ainsi qu'un attrapeur de poussière pour la machine de projection optique. Dans l'ensemble, l'alignement de masque MICROTEC MA-150 est non seulement précis et précis, mais aussi robuste et sûr. Il dispose d'une gamme de caractéristiques conçues pour assurer des performances optimales dans une gamme d'applications de micro-lithographie.