Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9229271 à vendre en France
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ID: 9229271
Mask aligner
Top side only
Power supply: CIC 1000
PC type: TYAN / FN 9160015
Relay interlock box
TSA microscope
TSA objectives: 5x / 0.15, 10x / 0.30, 20x / 0.40
COGNEX 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400 HP
Pre-aligner
Mask holder
Voltage: 230 V
Lamp: 350 Watts bulb
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 est un aligneur de masque polyvalent et fiable pour l'alignement de substrats minces dans le but de fabriquer des dispositifs microélectroniques. MICROTEC MA150 est basé sur une structure modulaire et se compose d'un ordinateur central qui abrite l'optique, comme l'objectif et les caméras, ainsi que d'une plaque d'échantillonnage. L'optique et les mécanismes se déplacent entre la plaque d'échantillon et les plaquettes, qui sont alignées avec précision par le masque. Le système optique de précision de KARL SUSS MA 150 est piloté par des moteurs pas à pas précis et les axes X, Y, Z et θ sont utilisés pour déplacer avec précision le mandrin d'échantillon et le mandrin de masque, respectivement, lors de l'alignement. Sa technique unique d'alignement masque-wafer est également utilisée pour minimiser les désalignements de motifs, et sa conception avancée contribue à maintenir une précision d'alignement précise. En termes de performance, MICROTEC MA-150 dispose d'une capacité de haute précision pouvant atteindre 0,5 micron de précision avec une course maximale de 15 mm entre les mandrins. Il a une large gamme de capacités d'exposition, avec une surface d'exposition maximale de 4.5mm x 6.0mm et une correction maximale de 24.5 ° dans les axes X et Y. De plus, KARL SUSS/MICROTEC MA150 offre un débit élevé pouvant atteindre huit plaquettes par heure, selon la taille et la complexité des plaquettes. En outre, MA150 a une construction robuste, et son ergonomie sophistiquée le rend adapté à une variété d'applications industrielles. La structure modulaire de KARL SUSS/MICROTEC MA 150 facilite l'entretien et la réparation, l'entreprise offrant des pièces de rechange et des services pour ses clients. En conclusion, MA-150 est un aligneur de masque fiable et polyvalent qui convient à la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il offre une grande précision, une large gamme de capacités d'exposition, et un débit élevé, ce qui en fait un choix idéal pour une variété d'applications.
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