Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9389834 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150 est un aligneur de masque automatisé de qualité professionnelle, conçu pour effectuer des opérations de photolithographie précises dans l'espace fab très fin et complexe des circuits intégrés. Cet alignement est robuste, précis et modulaire, permettant une personnalisation à une variété de besoins des utilisateurs. MICROTEC MA150 est un équipement de photolithographie entièrement automatisé, avec une chambre sans wobble scellée sous vide sécurisée et fiable qui fournit un alignement précis, répétable et une exposition uniforme de la plaquette à partir de 1-99 masques de wafer. Le système dispose également d'un sous-système mécanique à faible force qui permet un fonctionnement précis même dans des environnements sujets aux vibrations. KARL SUSS MA 150 a une résolution d'étage de nanomètre 24 bits et une unité de contrôle de processus intelligente intégrée, qui permet une précision d'alignement submicronique ainsi qu'un contrôle d'exposition stable et précis sans bandage ou autres imperfections d'image. En outre, l'unité dispose d'un module optique sensible qui permet de mesurer une petite zone avec une répétabilité élevée de la focale, permettant un positionnement précis des masques et des plaquettes. KARL SUSS/MICROTEC MA150 dispose également d'un étage amovible qui permet à l'utilisateur d'adapter facilement la machine selon ses spécifications préférées. L'unité permet une gamme de techniques telles que la gravure humide, le développement et le durcissement de la résine photosensible, la pulvérisation sous vide et le traitement thermique. L'outil peut également être utilisé pour traiter des plaquettes épaisses en utilisant la technologie des chambres de batch. L'actif est capable de fournir des films jusqu'à une épaisseur de 1,5 μ m et masque jusqu'à 1,7 nm de largeur de ligne. De plus, le modèle permet de créer des réticules à la volée, ce qui donne aux utilisateurs la liberté de modifier leur conception pendant le processus de photolithographie. MA150 soutient également une bibliothèque complète de recettes pour la programmation des processus de photolithographie. L'équipement offre également des options flexibles pour l'étalonnage automatisé avec un moniteur d'étalonnage intégré, assurant un traitement fluide et précis. En outre, MA 150 est compatible avec d'autres systèmes de la gamme de produits MICROTEC, permettant le transfert en un clic de recettes d'un système à l'autre, fournissant une solution de production efficace et flexible.
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