Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 150c #9379206 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 150c est un aligneur de masque de pointe. C'est une machine très avancée capable d'effectuer la lithographie, le développement de photorésistances et la gravure pour une variété de procédés de fabrication de dispositifs microélectroniques. MICROTEC MA 150c dispose d'une conception à deux chambres, avec des chambres de traitement séparées compatibles avec la salle blanche pour les applications manuelles, ainsi que des applications automatisées, d'exposition et post-exposition. KARL SUSS MA 150 C a une structure rigide en aluminium forgé, fournissant un support très rigide sur toute sa hauteur de travail de 1,5 m. Cette structure est également revêtue d'un époxy noir uniforme pour l'absorption de la chaleur et de la lumière. Ses axes Y-Z et Θ - Φ bien rembourrés assurent un haut niveau d'alignement de précision, tout en maintenant une grande capacité de 20 kg d'objets. La zone de travail complète est capable de loger des surfaces planes jusqu'à 203mm x 203mm de taille. KARL SUSS/MICROTEC MA 150 C dispose d'un système d'alignement laser intégré composé de deux sources laser internes et d'un miroir de balayage, permettant un haut degré de précision dans le positionnement des photomasques. Pour plus de commodité, il comprend également une plaquette 4 voies semi-automatique et un gestionnaire d'exposition, qui permet le placement et l'échange de photomasques et de cadres de plaquettes en quelques secondes. En plus de la lithographie, KARL SUSS MA 150c est également équipé d'une station de développement entièrement automatisée et d'un coussin de post-exposition. La station de développement et le revêtement à fente permettent le dépôt précis de photorésist de différents types. Après exposition, le masque est automatiquement transféré dans l'alignement pour permettre le processus de gravure, le cas échéant. MA 150c est conçu au haut débit, en tenant compte d'une moyenne φ sur l'exactitude d'alignement du masque φ de 0,2 microns. Bien que l'automatisation complète soit fournie, il dispose également d'une interface utilisateur facile à utiliser, qui fournit un contrôle et une surveillance pratiques des processus de la machine. La MA 150 C est contrôlée en température par un module intégré Peltier de 15 à 35 ° C, et est conçue pour maintenir une température constante, assurant des résultats cohérents. Dans l'ensemble, MICROTEC MA 150 C Mask Aligner est une machine de pointe qui offre un alignement de masque très précis et précis, combiné à une automatisation complète et une interface de contrôle conviviale, ce qui en fait un système idéal pour la fabrication de dispositifs microélectroniques.