Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA-150E #9131075 à vendre en France

ID: 9131075
Taille de la plaquette: 2"
Style Vintage: 1995
Mask aligner, 2" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150E est un équipement automatisé d'alignement de masque utilisé pour la microfabrication de précision dans de nombreuses applications, telles que la photolithographie, le dépôt de couches minces et la production de cellules solaires. Le système est conçu pour des performances de haute précision et de haut débit. Il se compose d'une unité de commande principale, d'un moteur pas à pas, d'un mandrin à vide, d'un capteur d'alignement et d'une série de bras articulés pouvant déplacer un substrat à travers une série d'étages. L'unité de commande principale de MICROTEC MA 150E est une unité à microprocesseur à interface utilisateur intuitive. Il permet une programmation et un fonctionnement faciles de la machine. Tous les composants de l'outil peuvent être commandés depuis l'interface, permettant un contrôle précis de l'alignement et de l'exposition du substrat. Le moteur pas à pas est un moteur à faible énergie qui permet un positionnement et un mouvement précis des bras articulés. Le mandrin sous vide est chargé de maintenir fermement le substrat en place lors de l'exposition. Le capteur d'alignement mesure alors l'inclinaison du substrat et apporte les corrections nécessaires. L'actif offre des options d'alignement manuel et automatique. Pour l'alignement manuel, des marques d'alignement sont apposées sur le mandrin et le support, ce qui permet d'obtenir des points de référence facilement visibles. Ceci permet un positionnement et un alignement précis du matériau. L'option d'alignement automatique utilise la technologie « autocentrage optique » pour reconnaître les marques et effectuer les corrections automatiquement. Cela simplifie le processus et réduit l'interaction utilisateur. KARL SUSS MA 150 E est capable de fonctionner plus rapidement que la plupart des aligneurs de masques normaux en raison de la précision accrue et de l'interface utilisateur améliorée. Il peut atteindre une résolution de 25nm, et des temps d'exposition de 8 à 250 secondes selon la qualité désirée. Il est facile à utiliser et nécessite un entretien minimal, ce qui en fait un choix idéal pour les projets d'alignement de masques à grande échelle. Sa fiabilité et sa précision en font un modèle leader dans l'industrie.
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