Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9373260 à vendre en France
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ID: 9373260
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Mask aligner, 8"
Topside alignment
Cassette to cassette
Field proximity mask holder for corner masks, 9"
With exposure area, 8"
Vacuum chuck: Thermal proximity chuck, 8"
Mask holder: 9" x 9"
LH5000 Lamp house: 5000 Watts
KARL SUSS CIC 5000 Power supply
UV400 Optics (For 365nm and 405 nm exposure)
With G-Line filter
Objectives: 5x, 10x
AL3000 Auto alignment system
DVM8 Microscope
JULABO Chiller
Isolation table
User manual
1000 Intensity meter with 365 and 435 nm probes
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 est un aligneur de masque utilisé pour positionner avec précision puis transférer des motifs sur une surface désirée qui peut comprendre des substrats semi-conducteurs ou des photomasques. L'alignement de masque est capable d'aligner des caractéristiques jusqu'à 0,2 micromètre et a la capacité de superposer et d'aligner des caractéristiques qui sont plusieurs centaines de micromètres dans certains cas. La machine est incroyablement précise et efficace, permettant un alignement très spécifique et répétable des caractéristiques sur le substrat. La machine elle-même se compose d'un étage XY, d'un manipulateur à quatre axes qui est utilisé pour aligner et positionner le substrat et le masque, et d'un microscope à champ lumineux et à champ sombre avec une résolution minimale de 0,5 micromètre. La machine comprend un système informatique intégré qui permet à l'utilisateur de programmer des points d'alignement et de contrôler la machine. Les caractéristiques d'alignement programmables sont incroyablement précises et permettent une large gamme d'opérations d'alignement telles que cercle à cercle, rectangle à rectangle et cercle à ligne. La machine comporte également un alignement de diode laser, qui utilise un laser pour fournir à l'utilisateur des points de référence pour l'alignement exact du masque et du substrat. L'utilisateur de MICROTEC MA200 peut commander les quatre axes de la machine simultanément et régler automatiquement ou manuellement la position du substrat et du masque. L'utilisateur a également la capacité d'ajuster l'exposition de la machine en fonction du substrat et du dispositif. KARL SUSS MA-200 est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs car il fournit un moyen rapide et précis de transférer des motifs sur des substrats. La machine est rapide et efficace, ce qui permet à l'utilisateur d'obtenir un rendement élevé et un faible temps de traitement tout en conservant une précision et une précision élevées du transfert. De plus, l'alignement de la diode laser permet une grande précision lors de l'alignement du masque et du substrat, assurant un transfert de motifs exact et reproductible.
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