Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9249041 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6 est un aligneur de masque utilisé pour aligner des masques de lithographie avec des plaquettes recouvertes de photorésist afin de créer des motifs sur la plaquette. La MICROTEC MA 4/6 est spécialement conçue pour rendre fiable, précise et reproductible la fabrication à haut volume de circuits intégrés (IC). L'équipement utilise des techniques de haute précision et d'alignement automatisé pour manipuler et positionner avec précision les masques pour la fixation des IC. L'aligneur de masques KARL SUSS MA 4/6 comporte cinq composants principaux : une table de plaquettes, une table de masques, une paire de codeurs optiques, un système de vision et d'inspection et une unité de commande. La table de plaquettes est conçue pour tenir la plaquette et est équipée de ventouses pneumatiques pour fixer la plaquette et permettre sa manoeuvre dans les axes X, Y et Z. La table de masque est conçue pour tenir le masque et contient un chargeur de masque automatisé intégré. Les codeurs optiques permettent de mesurer avec précision le mouvement et l'alignement de la plaquette et du masque l'un par rapport à l'autre. L'unité de vision et d'inspection assure le maintien de l'intégrité du masque et de la plaquette et la bonne exécution du balisage. Enfin, l'unité de contrôle fournit le matériel et le logiciel pour instruire les tables de plaquettes et de masques sur le positionnement exact. L'alignement de masque MA 4/6 présente une précision d'alignement calibrée pouvant atteindre 10 micromètres (µm), ce qui le rend adapté à la précision à l'échelle nanométrique. De plus, la précision d'alignement est ajustée avec une machine d'étalonnage à trois points pour un alignement optimal. Cet outil d'étalonnage en trois points utilise trois marques fiduciaires, qui sont des marques permanentes sur la plaquette utilisée pour référencer le masque, pour fournir un alignement indépendant dans les axes X et Y. En outre, l'actif comporte un modèle intégré d'inspection des plaquettes, qui inspecte les plaquettes avant et après l'exposition. Cette inspection est affichée sur l'écran de l'unité de contrôle, donnant accès à une grande variété de paramètres pour vérifier la précision reproductible. De plus, l'alignement de masque KARL SUSS MA 4/6 dispose d'une interface intuitive axée sur les icônes, qui simplifie le fonctionnement et la configuration de l'utilisateur même pour les premiers utilisateurs. Il existe même une interface de conception assistée par ordinateur (CAO), qui est utilisée pour transférer des motifs de la mise en page IC à la plaquette. Ce programme est également personnalisable et programmable, permettant un fonctionnement sur mesure selon les spécifications de l'utilisateur. D'autres caractéristiques de MA 4/6 alignement de masque comprennent le traitement avancé de l'image, de faibles coûts de fonctionnement, et un faible besoin d'espace au sol. Cet aligneur de masque est bien adapté à la fois aux petites et grandes séries de production et est conçu pour rendre la production de haut volume de IC précis, fiable et reproductible. Avec son interface utilisateur intuitive, ses fonctionnalités programmées et sa précision d'alignement sophistiquée, KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6 masque aligner peut être utilisé de manière fiable et même par les premiers utilisateurs.