Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 4 Series III BSA #293639816 à vendre en France
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ID: 293639816
Taille de la plaquette: 4"
Mask aligner, 4"
Lamphouse: 1000 Watt
Wafer chuck: Configured for 2"
Optics: 365nm (NUV)
CIC Power supply: CIC 500 constant intensity controller.
KARL SUSS/MICROTEC MA 4 Série III BSA est un aligneur de masque de haute précision conçu pour les applications avancées de traitement des semi-conducteurs. Le dispositif dispose d'un équipement optique de surface uniforme avec un blanc de masque à quartz pour une précision et une répétabilité maximales. Il est capable de loger des plaquettes jusqu'à 200mm (plus grand sur une base de commande spéciale) et peut exposer des substrats jusqu'à 40mm d'épaisseur. La MICROTEC MA 4 Série III BSA est équipée d'un étage nanométrique calibré qui utilise un système unique d'alignement x-y- θ triple pour contrôler précisément à la fois l'angle et la position x-y de la plaquette ou du masque blanc. Le mécanisme de contact haut et bas à quatre points assure que l'exposition optique est centrée et cohérente sur toute la zone d'exposition. Ce dispositif dispose également d'une unité de débit d'air unique qui utilise quatre chambres de diffusion pour réduire la turbulence de l'air et les fluctuations de température lors de l'exposition, permettant des doses d'exposition plus élevées, une réduction de la résistance des feuilles et des rendements améliorés. En outre, la machine est conçue pour réduire le risque de contamination par une technologie avancée d'élimination des liquides et des particules. Cela permet d'assurer la qualité et la précision, ainsi que de réduire la consommation d'énergie excédentaire. KARL SUSS MA 4 Série III BSA dispose également d'un outil optique avancé conçu pour améliorer la précision de l'alignement. Il dispose d'un réticule à motifs laser pour la reconnaissance de motifs de haute précision et d'une exposition double face pour l'exposition des côtés supérieurs et inférieurs. Il a également une capacité d'exposition quatre axes et est équipé de filtres optiques avancés pour améliorer les performances. L'actif est également conçu en tenant compte de la sécurité. Il est équipé de dispositifs de sécurité pour empêcher les utilisateurs d'entrer dans des zones dangereuses, comme la chambre d'exposition pendant le fonctionnement, ainsi que d'alarmes sonores et visuelles pour alerter les utilisateurs de tout danger ou problème d'exposition potentiel. MA 4 Série III BSA est conçu pour fournir un alignement de masque expert et précis pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Il dispose de technologies d'optique et d'étalonnage avancées pour des expositions toujours précises, ainsi que d'un modèle de flux d'air résistant à la contamination qui aide à prévenir la contamination. Il dispose également d'emboîtements de sécurité et d'alarmes pour une sécurité et une protection maximales.
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