Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9159265 à vendre en France

ID: 9159265
Taille de la plaquette: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MA 45 masque aligner est un équipement spécialisé conçu pour aligner avec précision et précision ou « exposer » des photomasques en couches sur des substrats comme des plaquettes. L'aligneur effectue un premier balayage et un alignement automatique de l'ensemble de la plaquette, avant d'exposer chaque masque séparé et chaque couche du masque. Grâce à l'utilisation d'un système automatisé de balayage laser, la précision de l'alignement peut être maintenue lors d'opérations prolongées sans réalignement du masque. Cela rend l'unité hautement adaptée aux applications industrielles ainsi qu'aux processus de recherche et de développement. L'alignement de masque MICROTEC MA 45 consiste en une étape qui maintient le substrat (généralement une plaquette) et une « planche » où sont placées les photomasques. La machine optique de l'aligneur est montée sur le masque et le substrat. Pour exposer chaque couche ou masque, cet outil optique aligne précisément le masque sur la plaquette. L'alignement est typiquement réalisé avec une précision d'environ un micromètre. L'alignement de masque KARL SUSS MA-45 utilise une source lumineuse de lumière UV pour exposer chaque couche du masque. La lumière est projetée à travers le photomasque puis sur la plaquette. Ceci est suivi par l'application d'un développeur. Le développeur est utilisé pour enlever le matériau photorésist indésirable de la zone de la plaquette exposée à la lumière UV, laissant derrière l'image ou le motif désiré. L'atout du masque aligner est composé de plusieurs modules qui peuvent être configurés individuellement pour des applications spécifiques. Ces modules fournissent des fonctions de commande de moteur pas à pas, de repérage laser, d'imagerie, d'alignement optique et de fixation de plaquettes. Le masque peut être exposé en mode lot ou une plaquette à la fois. Le modèle de projection optique de l'aligneur est constitué d'un objectif télécentrique et d'une unité d'analyse d'image numérique. Le microscope comprend également un réseau de diodes et une caméra CCD avec une interface, qui permet la capture de l'image de masque, afin de mesurer et de déterminer la précision d'alignement. MA-45 masque aligner est un équipement très précis pour aligner et exposer des photomasques en couches sur des plaquettes. Sa mécanique d'alignement automatisée et son système optique éclairé permettent un alignement précis et efficace de masques multiples en une seule fois, ce qui en fait un excellent choix pour les paramètres industriels et de recherche. La conception modulaire de l'unité le rend adaptable à de nombreuses applications différentes.
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