Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293740285 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 56 est un outil d'alignement de masque de pointe utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il se compose de trois composants principaux : l'équipement d'alignement, l'actionneur et le système de micro-manipulateur. L'unité d'alignement utilise des télé-lecteurs optiques doubles pour détecter les marques d'alignement sur le masque et la plaquette. Il produit alors un décalage de référence entre les deux qui est basé sur la précision des télé-lecteurs optiques. L'actionneur est utilisé pour déplacer le masque et la plaquette dans leurs positions relatives et les y maintenir. La machine à micro-manipuler est constituée de manipulateurs qui déplacent le masque et la plaquette dans un cadre de référence et les y maintiennent. La taille réelle des caractéristiques est déterminée par le masque utilisé pour l'impression sur la plaquette, et cette taille détermine également la précision attendue de l'outil d'alignement. Avec cet outil particulier, la précision d'alignement est mentionnée comme inférieure ou égale à 1 micron, ce qui la rend adaptée à une grande variété d'appareils allant des appareils RF de grande puissance, analogiques et numériques. L'actionneur a une répétabilité qui est citée comme 1,5 microns, ce qui le rend adapté pour les appareils avec des largeurs de ligne allant de 5 microns à 25 microns. Le Masque Aligner comprend également un atout d'éclairage avec une lampe à crue spectrale 7x qui assure une bonne exposition de la couche de résine photosensible sur la plaquette. La lumière est spécifiquement adaptée au masque utilisé et présente une intensité homogène de faisceau serré. Ce faisceau lumineux étanche est ce qui permet à l'outil d'atteindre une précision inférieure à 0,5 micron avec le modèle d'alignement. MICROTEC MA56 comprend également les capacités de nettoyage et de séchage des plaquettes, y compris la capacité de métrologie. Il dispose d'un vide complet cassette-à-cassette et dispose d'un essuie-glace sélectable à axe Z. En outre, l'outil est équipé de capacités d'essai automatisées, contrôle de l'environnement jusqu'à 40C, contrôle de la température et de l'humidité, protection contre les dommages légers et contrôle des mandrins à chaud/froid. Dans l'ensemble, KARL SUSS MA-56 est un outil d'alignement de masque très précis et fiable. Ses composants de pointe lui permettent de traiter toutes sortes d'applications allant des appareils RF de grande puissance aux conceptions numériques. De plus, la capacité de nettoyer et de sécher les plaquettes ainsi qu'une capacité de test automatisée font de KARL SUSS/MICROTEC MA-56 un outil essentiel pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs.