Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9116712 à vendre en France
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ID: 9116712
Taille de la plaquette: 4"
Top sided mask aligner, 4"
(4) Coll wafers
Automatic wafer transfer
Set up for deep UV.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56 est un aligneur de masque fabriqué par SUSS MICROTEC. C'est une solution pratique et polyvalente pour l'alignement précis de substrats de grande ou petite taille pour des applications de production de microélectronique. MICROTEC MA56 dispose d'une technologie exclusive de stabilisation active qui fournit des résultats avec précision jusqu'à 4 μ m (± 2 μ m) indépendamment des conditions environnementales. En outre, les systèmes optiques-mécaniques auto-alignés assurent des performances de débit élevées avec un processus d'alignement complet des plaquettes en moins de 5 minutes. L'interface utilisateur de KARL SUSS MA-56 utilise une interface utilisateur graphique intuitive basée sur Windows (GUI), qui offre aux utilisateurs une façon conviviale de contrôler le fonctionnement de l'aligneur de masque. L'équipement de contrôle avancé de KARL SUSS/MICROTEC MA-56 permet également de transférer et de stocker des données pour une analyse et une interprétation plus approfondies. MA-56 intègre un chargeur automatisé pour le passage des masques de la cassette à la zone d'exposition à travers un bras robotique. L'aligneur de masque peut accueillir les deux modèles d'alignement manuel de plaquettes, comme le système de nivellement manuel standard avec quatre vis réglables, ainsi que l'unité d'auto-alignement, avec sa machine innovante de nivellement de cassette électromécanique. MA56 est équipé d'une lampe à mercure à longue durée de vie, d'un outil d'imagerie optique de haute précision et de la fonction de transfert de modulation avancée (MTF) qui permet un débit plus élevé à faible dose. Le logiciel intégré de l'aligneur est adapté à une variété d'applications et permet à l'utilisateur d'optimiser le traitement des motifs lithographiques pour obtenir des rendements élevés. MA 56 peut utiliser différentes tailles de substrat jusqu'à 200 cm ², et offre un haut degré de précision ainsi que la capacité de compenser des facteurs environnementaux, tels que la température ou l'humidité. Le masque aligneur supporte également une variété de langues qui le rend adapté au marché mondial. Dans l'ensemble, MICROTEC MA 56 est un aligneur de masque fiable qui fournit des résultats précis avec une précision inégalée dans un court laps de temps. C'est une solution polyvalente et pratique qui est rentable pour de nombreux établissements de microélectronique.
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