Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9270575 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC MA 56 est un aligneur de masque automatisé de haute précision utilisé pour les processus de photolithographie dans la recherche et la production industrielle. Il est utilisé pour déposer et modeler des couches minces de résine photosensible, telles que celles utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs. MICROTEC MA56 est capable de 5-115 microns de résolution, et convient pour des couches jusqu'à 500 nanomètres d'épaisseur. La machine utilise un système d'imagerie monté sur un étage d'asservissement pour exposer un masque de photolithographie sur un substrat tel qu'une plaquette Si. Le substrat est ensuite déplacé vers une position proche du système d'imagerie, où il est aligné et focalisé. La machine est capable d'aligner à la fois un axe et un double axe. Il permet une variété de méthodes d'alignement, telles que l'alignement automatique, les mesures de plein champ de vision, le ciblage, les cheveux croisés et l'autofocus linéaire. KARL SUSS MA-56 utilise un régulateur de débit massique pour contrôler précisément l'acheminement des produits chimiques, tels que les photorésistants et les développeurs, sur le substrat. Les conditions du procédé, telles que la température, l'humidité, la concentration chimique et le flux, peuvent être facilement ajustées. La machine offre également une large gamme de caractéristiques de sécurité et est conforme à la réglementation EMC actuelle. MICROTEC MA 56 dispose d'une interface utilisateur intuitive et d'un flux de travail hautement configurable. Il est capable d'exécuter une variété de langages de programmation, y compris C, Visual Basic et Pascal. La machine peut être actionnée à distance, permettant l'observation et la surveillance à distance. Dans l'ensemble, KARL SUSS/MICROTEC MA-56 est un aligneur de masque convivial et de haute précision qui convient à une grande variété de procédés de photolithographie. Il offre un haut niveau de précision et de répétabilité, et est capable d'atteindre une résolution de fonctionnalités jusqu'à 5-115 microns. La machine est capable d'effectuer l'alignement à la fois à un et à deux axes, et peut être facilement ajustée pour optimiser les conditions de processus. Son interface d'utilisateur intuitive et opération lointaine rendent MA56 un outil de valeur pour la recherche industrielle et la production.
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