Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #293639160 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 est un aligneur de masque de MICROTEC, fabricant d'équipements de précision pour l'industrie des semi-conducteurs. Les systèmes d'alignement de masque MA 6 et BA 6 offrent des résultats précis et reproductibles pour des applications de photolithographie haut de gamme nécessitant une résolution au niveau du nanomètre. L'aligneur de masque MICROTEC MA6/BA6 a une résolution en Z de 0,01 microns et une taille de pas de minumum de 0,12 microns. Il est capable de positionner un substrat de répétabilité < 0,1 microns. La table de positionnement a une échelle linéaire de 700 mm sur 600 mm et est capable de positionner avec précision des substrats d'une taille maximale de 12 ". La machine est équipée d'un équipement à double faisceau qui fournit des temps d'alignement rapides avec une capacité de mesure à champ divisé. Le système à double faisceau contient deux systèmes de rétroaction de diode laser interféromètre/position qui fournissent une précision de position au niveau du nanomètre et permettent un alignement rapide. Il est également équipé d'un module d'optique télécentrique haute résolution qui fournit un champ de vision avec un grossissement de 30x ou plus. KARL SUSS MA6/ BA6 offre plusieurs fonctionnalités pour garantir des résultats fiables et minimiser le risque de défauts. Pour réduire le risque de contamination, la machine est équipée d'un outil d'exposition autofocus qui maintient les longueurs d'onde d'exposition cohérentes. Il comporte également une cale à vide qui empêche tout mouvement de substrat lors de l'exposition. Pour minimiser le risque de rayures ou de dents sur le substrat, l'actif est conçu avec des capacités de coussin d'air. Le modèle offre également une large gamme de sources d'exposition, telles que l'arc de mercure de grande puissance et les lampes d'exposition XeCl, qui offrent une excellente précision de mesure avec des temps d'exposition inférieurs à une seconde. De plus, les filtres UV et IR intégrés offrent un environnement de travail propre, minimisant le risque d'absorption du substrat de tout type de rayonnement. Enfin, KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6 masque aligner est également équipé d'un large éventail d'outils de diagnostic et de service, permettant des mesures, des inspections et des tests de performance avec contrôle complet de l'outil, ce qui le rend idéal pour la recherche et le développement. Grâce à sa polyvalence, son design robuste et sa précision, MICROTEC MA-6/ BA-6 masque aligner est un outil idéal pour toute application de photolithographie de précision.