Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9226441 à vendre en France
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Vendu
ID: 9226441
Style Vintage: 2018
Mask aligner
Manual alignment stage:
Automatic wedge compensation system: Contact / Without contact (Mask and wafer)
Alignment gap program:
1 - 1000 Micron
1 Micron resolution
Movement range mask aligner mode:
X ±10.0 mm, Y ±5.0 mm, Theta ±S"
Movement range bond aligner mode:
X ±3.0 mm, Y ±3-0 mm, Theta ±3°
Machine base with mechanical, pneumatic and electrical equipment
Adapter system:
Mask holders: Up to 7" x 7" maximum
TSA Microscope stage:
X, Y Manipulator (Motorized)
Manual rotation
Wafers / Substrates: Manual loading and unloading
Microprocessor control with LCD display
Lithography applications
Wafers: 2" Up to 150 mm Diameter
Substrates: 2" x 2" Up to 6" x 6"
Bond application
Wafers: 3" Up to 150 mm diameter
Operator manual on CD
BSA Microscopes with working distance 33 mm
Alignment stage:
X, Y Theta
WEC Head for BSA microscope objective separation in X direction 15 mm to 100 mm
Motorized Z axis
Bottom side alignment system:
Separation in X: 15 mm - 100 mm
Travel in Y: - 20 mm to + 50 mm
Motorized focus: 6 mm
Enhanced Image Storage System (EISS):
PC With image and fine focus control
M 306 / 8, DVM 6/8 and BSA
TFT Flat screen, 17"
Integrated trackball
S-VGA Resolution: 1280 x 1024
SUSS DVM6 Microscope:
(2) CCD Cameras
Objective separation: 47 to 140 mm
Single objective UMPL FLI
Working distance: 20 mm
Exposure unit:
Wafer / Substrate: 150 mm
Exposure lamps: Up to 500 W
2018 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 est un aligneur de masque manuel utilisé pour le tissage nanolithographique de haute précision pour photomasques et substrats. Cette machine est utilisée dans la production de masse, la recherche et le développement de dispositifs impliquant des caractéristiques microscopiques. C'est un outil automatisé pour aligner des masques ou des substrats avec une précision et une répétabilité d'étape de 10nm. MICROTEC MA6/BA6 est idéal pour la fixation de photomasques et de substrats grâce à son extrême précision et sa répétabilité. Il s'agit d'un outil de lithographie optique avancé qui comprend deux chambres distinctes, la chambre à masque et la chambre à substrat, pour améliorer la précision et la répétabilité. La chambre de masque dispose d'une porte oscillante à 180 degrés pour le chargement et le déchargement de deux masques dans n'importe quelle configuration d'alignement. Il dispose de deux tables de masque évolutives à 5 positions pour faciliter l'alignement du masque. Le Mask Chamber offre également la possibilité de la traduction et de la rotation manuelle ou automatisée via un étage XYZ motorisé. La Chambre Substrat dispose d'une porte basculante à 180 degrés pour charger et décharger jusqu'à quatre substrats dans n'importe quelle configuration d'alignement. Il dispose également d'une table de substrat évolutive à 5 positions pour faciliter l'alignement des substrats. La Chambre Substrat offre la même translation et rotation manuelle ou automatisée via un étage XYZ motorisé que la Chambre Masque. KARL SUSS MA6/ BA6 utilise un système d'éclairage avancé pour assurer un alignement et une exposition précis du masque au substrat. Il combine à la fois LED et mini-lampe halogène sources d'éclairage pour un contrôle optimal de l'intensité et transmettre l'uniformité. Le système offre également un choix de différents modes d'alignement tels que entièrement automatisé, semi-automatisé et manuel pour différentes applications. Il dispose également d'une technique logicielle de détection de mouvement pour garantir une précision de position supérieure avec les deux sources de faisceau disponibles. MA 6/BA 6 est un excellent choix pour les applications avancées de lithographie car il offre une précision, une répétabilité et une vitesse inégalées. C'est un outil fiable et rentable pour accroître la R-D et la production de masse dans divers domaines, y compris la microélectronique, le MEMS, l'opto-électronique et le stockage magnétique.
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