Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293592970 à vendre en France
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ID: 293592970
Taille de la plaquette: 6"
Mask aligner, 6"
Gen 1
Resolution: 1 Micron
Split field microscope with (6) objectives
Option: IR, 3"
Mask holder, 7x7"
Power supply: 1000 W.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6 est un aligneur de masque avancé conçu pour l'alignement et l'enregistrement de haute précision. Il est équipé d'un équipement laser automatisé pour l'alignement de haute précision d'un maximum de six substrats en un seul cycle. La précision de l'alignement et de l'enregistrement est de 0,5 µm dans les deux directions x, y et un µm dans la direction z. La précision du système est encore facilitée par la présence d'une fonction de reconnaissance de bord de tranche très sensible. Le processus d'alignement et d'enregistrement est réalisé par le tir séquentiel de cinq faisceaux laser distincts sur une série de marqueurs sur le substrat. Chaque marqueur est surveillé et corrigé pour respecter la tolérance requise afin qu'il soit exactement aligné et collé sur le substrat de choix. MICROTEC MA6 comprend une unité robot d'étage de plaquettes pour faciliter la charge/déchargement des substrats et une machine thermique intégrée pour les maintenir dans leur plage de température idéale. Le masque aligneur dispose également d'un échange automatique de réticules et d'un centre de contrôle intégré fournissant interface visuelle et surveillance en temps réel du processus. Sa conception avancée permet un passage simple et facile des paramètres entre les recettes, permettant ainsi une flexibilité étendue dans le processus d'alignement. KARL SUSS MA-6 utilise également un outil de vision pour scanner les réticules pour les défauts qui assure un alignement sans défaut dans chaque substrat. MICROTEC MA 6 est un aligneur de masque très fiable qui peut être utilisé dans toute une gamme d'industries telles que l'électronique, l'optoélectronique, la photonique et les systèmes microélectromécaniques (MEMS). L'actif lui-même est protégé contre la poussière et peut être utilisé dans une gamme d'environnements de production, des configurations de grands volumes aux grandes grappes. Il offre une excellente stabilité et fiabilité pour sa classe, ce qui le rend idéal pour les applications nécessitant une grande précision et répétabilité. MA6 est un outil idéal pour aligner les composants micro-structurés dans les processus de fabrication de précision car il peut effectuer l'alignement avec des résultats de haute qualité, de haute précision et reproductibles. En conclusion, KARL SUSS/MICROTEC MA-6 est un aligneur avancé conçu pour des applications de haute précision. Avec son modèle hautement automatisé et fiable, il peut fournir un alignement et un enregistrement précis avec une excellente stabilité pour la classe. L'équipement est protégé contre la poussière et peut fonctionner dans divers environnements et configurations de production, ce qui en fait un excellent choix pour les procédés de fabrication de précision.
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