Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9179543 à vendre en France
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ID: 9179543
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2003
Mask aligner, 6"
With HITACHI VM-1220U Monitor
Top side alignment
Mask system, 5"
Hg-Xe Vapor lamp
Mid-UV range: 250 nm
2 Channels: 475 W
Capable of processing: 4"-6"
Mask size: Up to 7" x 7" standard
Substrate size: 2" x 2" - 6" x 6"
Exposure optics:
Wave length: UV 400
L-line and G-line
Exposure source: 350 W
2003 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6 est un aligneur de masque haut de gamme qui est utilisé pour l'alignement de motifs de masque pour le processus de nanolithographie UV. C'est un outil pour la fabrication de semi-conducteurs et la fabrication de photomasques. Il est capable de fournir des plaquettes de 6 pouces avec une capacité d'alignement de sous-micron et est utilisé pour le balisage fin de composants microélectroniques. MICROTEC MA6 dispose d'un équipement unique de balayage par faisceau qui comprend quatre moteurs autofocus à masque pour un total de 8 capteurs autofocus. Ceux-ci fournissent une reconnaissance optique haute résolution qui est utilisée pour le réalignement automatique et les corrections des motifs sur le masque. Le système d'imagerie haute résolution est également capable de détecter des distorsions mineures dans le masque ainsi que la résolution des pixels jusqu'à 0,3 microns. L'outil est conçu pour offrir un débit élevé et des temps d'alignement rapides, le temps de cycle pour une plaquette de 6 pouces étant inférieur à 6 minutes. L'utilisateur peut être assuré d'un rendement et d'une précision élevés grâce à l'alignement et l'optimisation automatiques, qui est atteint par le logiciel de bord. L'unité est également compatible avec un logiciel de mise en page avancé. La machine est conçue pour être intégrée dans un environnement de lithographie existant et est équipée d'alimentations à basse et haute tension qui peuvent fournir jusqu'à 150 watts de puissance pour des applications à haut débit. De plus, la puissance est réglable pour assurer une résistivité et une uniformité d'exposition constantes, ce qui permet un contrôle rigoureux de la réponse au recuit. KARL SUSS MA-6 offre un ensemble complet de contrôles de l'utilisateur, y compris l'ajustement du temps d'exposition, de la zone d'exposition et du diamètre du faisceau. De plus, il est possible d'effectuer de petits réglages des formats de focalisation, d'alignement et de faisceau via la commande tactile. En outre, l'outil est équipé de fonctionnalités supplémentaires qui permettent le débridage des motifs et l'ajout de réticules. MICROTEC MA 6 est un aligneur de masque fiable et précis. Il offre une gamme complète de fonctionnalités et fournit aux utilisateurs un outil fiable capable de fournir un alignement de sous-microns et avec un débit élevé. MA 6 est adapté à divers besoins de masquage, y compris ceux liés aux procédés de fabrication de photomasques et à la fabrication de semi-conducteurs.
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