Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9230018 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 6 est un aligneur de masque microélectronique conçu pour la photolithographie au niveau des plaquettes. C'est un instrument entièrement automatisé qui fonctionne sur le principe de l'imagerie de projection. Le dispositif aligne et expose l'image optique d'un photomasque à un substrat enduit ou non pour fabriquer des motifs de photolithographie sur le substrat. MICROTEC MA6 comprend un étage de masque à commande mécanique pour la manipulation et l'alignement du photomasque. Il comprend également un étage de plaquette qui déplace automatiquement le substrat dans les directions x, y et z. KARL SUSS MA-6 accueille des substrats d'un diamètre allant jusqu'à 150 mm avec des expositions à la fois au spin et au contact linéaire. L'étage de masque a un alignement réglable x, y et z pour un alignement précis du masque et du substrat. KARL SUSS MA 6 a une résolution maximale de 0,5 um, généralement utilisée pour les technologies semi-conductrices, et une taille minimale de 1,0 um, utilisée pour les applications d'affichage et de capteur. Il a une plage d'énergie d'exposition de 0,15 mJ à 3,2 mJ avec une précision de 0,15 mJ. Un système de direction à faisceau refroidi à l'azote liquide permet un alignement et une exposition précis. L'instrument est conçu pour fournir une imagerie peu coûteuse de moins d'un demi-micron. MA6 dispose également d'une machine I-line en option qui permet le marquage des couches intérieures. Les flippers intégrés assurent un nettoyage complet de tous les composants optiques. L'unité multi-couches incluse permet la production de plusieurs couches avec une seule exposition. L'alignement dynamique programmable permet le placement précis et reproductible des repères d'alignement. Le logiciel aligne le masque désiré sur le substrat pour assurer un alignement correct. MA 6 comprend également une gravure intégrée pour la gravure à sec de photorésist et une possibilité de gravure par voie humide pour l'élimination des photorésists de sous-coupe. Il a un haut niveau de répétabilité, avec une précision de 0,05 pour cent. Il dispose également d'un refroidissement intégré de l'étage de plaquette pour prolonger sa durée de vie et permet une imagerie de haute précision. L'instrument fournit une interface utilisateur facile à utiliser, entièrement automatisée avec son interface graphique. Il est conçu pour être conforme à toutes les principales normes de sécurité et d'émissions. Ces caractéristiques rendent KARL SUSS/MICROTEC MA-6 idéal pour le prototypage, la production en petits et moyens volumes, ainsi que la recherche et le développement.