Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9242865 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MA 6 est un aligneur de masque de pointe utilisé dans le domaine de la lithographie. Il combine un équipement optique unique et performant avec un système d'alignement mécanique très précis offrant ainsi une grande précision sans perte de débit ou de fiabilité de processus. L'appareil est adapté à l'imagerie directe laser ainsi qu'à la lithographie par immersion et à la lithographie par masque souple. L'alignement entièrement automatique de la plaquette sur le réticule garantit la précision et la répétabilité du processus d'alignement. La machine optique de MICROTEC MA6 se compose de trois composants principaux : une grande caméra de champ de vision, un outil de rotation d'image et un microscope à longue distance de travail. La caméra capture une image haute résolution de l'ensemble du masque, qui est alors couplée à l'actif de rotation de l'image pour un alignement précis du substrat sur le masque. Le microscope représente alors la petite zone d'intérêt avec une résolution de sous microns. Le modèle optique offre un grand champ de vision, permettant un alignement précis et des temps d'alignement courts tout en maintenant une haute résolution. L'équipement est également capable d'effectuer des mesures de recouvrement complet, ce qui permet d'affiner les paramètres d'alignement. Le système d'alignement mécanique assure un contrôle précis du positionnement de la plaquette. L'unité utilise un étage unique d'alignement à 6 axes, permettant un positionnement précis du substrat en trois dimensions. La plage de mouvement est optimisée pour assurer un positionnement précis de la plaquette par rapport au masque. De plus, la machine intègre un outil à queue d'aronde pour un alignement en rotation précis et une correction d'inclinaison de la plaquette. KARL SUSS MA-6 est conçu pour des environnements de production à haut volume, offrant une excellente précision d'alignement ainsi que le débit. L'actif est idéal pour les applications de métrologie et d'assurance qualité, fournissant des mesures précises pour l'évaluation des réticules et l'optimisation des processus. La combinaison de systèmes optiques et mécaniques avancés permet au modèle de fournir des résultats rapides, précis et reproductibles pour tous les types d'applications.