Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9375851 à vendre en France
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ID: 9375851
Taille de la plaquette: 6"
Mask aligner, 6"
Substrate size: 6″ x 6″
Pieces down to 5 x 5 mm
Mask size SEMI: Standard up to 7″ x 7″
Expsoure optics::
Wavelength range:
UV400 350: 450 nm
UV300 280: 350 nm
UV250 240: 260 nm
Exposure source:
Hg lamp
Power: 200 -1000 W
HgXe lamp
Power: 500 W
Intensity uniformity: ± 5 %
MO Exposure optics: ± 2.5 %
Alignment stage:
Movement range
X: ± 10 mm
Y: ± 5 mm
θ: ± 5°
Mechanical accuracy: 0.1 μm (step size).
Le masque KARL SUSS/MICROTEC MA 6 aligner est un équipement optique sophistiqué utilisé pour l'application précise de photorésist sur des substrats semi-conducteurs. Il est capable de positionner un réticule sur un semi-conducteur revêtu de photorésist avec une précision nanométrique et une reproductibilité. Le système fonctionne en utilisant des miroirs et des lentilles pour projeter la lumière sur le substrat et créer un motif de zones claires et sombres. Ceci est détecté par une caméra CCD et l'image est analysée pour aligner le motif avec le substrat. MICROTEC MA6 est conçu pour être compatible avec de nombreux matériaux de substrat, tels que le silicium, l'arséniure de gallium, le diamant polycristallin, ainsi que le quartz et d'autres matériaux similaires au verre. Il est également équipé de fonctionnalités telles que l'éclairage par faisceau de ventilateur pour une distance de travail accrue, laser haute résolution et haute puissance pour un positionnement de haute précision, et l'exposition à double faisceau pour une meilleure précision d'adaptation des motifs. En plus des composants essentiels, KARL SUSS MA-6 possède également un certain nombre d'autres fonctionnalités utiles qui lui permettent d'être adapté à diverses applications. Ceux-ci comprennent la capacité de détecter les conditions de non-focalisation et de les corriger automatiquement, l'ajustement de la compensation du masque et du décalage d'image, le stockage de mémoire des données d'enregistrement du masque et un mode multi-exposition pour gérer les espaces compliqués entre les éléments. KARL SUSS/MICROTEC MA6 dispose également d'un tableau optique unique, qui aide à réduire les vibrations et permet l'alignement des éléments optiques en même temps. Afin d'assurer un alignement fiable et de haute précision, KARL SUSS MA 6 dispose de plusieurs paramètres d'alignement contrôlés par logiciel tels que la taille du balayage et la répétabilité du motif. L'unité permet quatre approches d'alignement différentes - traitement parallèle, grille, ombre et une mise en page complète. Toutes ces fonctionnalités travaillent ensemble pour fournir des résultats d'alignement rapides, très précis et reproductibles. KARL SUSS/MICROTEC MA-6 a un large éventail d'applications, allant des applications micro-électroniques aux applications biomédicales. Il est utilisé dans de nombreuses industries, y compris la photolithographie, la décoration des bouteilles de verre et de boissons, le traitement des cellules solaires à couches minces, la vision des machines et le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est également utilisé dans la réalisation de divers composants tels que des micro-lentilles, des lentilles et des moulages. En général, MA dont 6 masque aligner est un outil idéal pour le fait de modeler précis se photooppose à ON Semiconductor substrates. Il est équipé d'une technologie de pointe et de caractéristiques qui lui permettent d'être adapté à diverses applications, fournissant des résultats reproductibles et précis. C'est une machine fiable et très efficace qui est utilisée dans de nombreuses industries à travers le monde.
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