Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293800513 à vendre en France
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ID: 293800513
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2017
Mask aligner, 8"
Alignment functions:
Top Side Alignment (TSA)
Bottom Side Alignment (BSA)
Substrate size: Up to 8“ x 8”
Resolution: 0.5 µm
BSA Alignment accuracy: <1 µm
Alignment gap programmable: 1 to 100 µm
Mask aligner mode: X ±5.0 mm, Y±5.0, Θ±5°
Bond aligner mode: X ±3.0 mm, Y±3.0, Θ±3°
Motorized stage: 0.1 µm
LH1000 Exposure unit
LH1500 Lamp housing unit
PLC Control with LCD Display
Operating system: Windows GUI
2017 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3 est un adaptateur de masque entièrement automatisé utilisé pour exposer rapidement et avec précision les plaquettes lors des opérations de production. L'unité est composée d'un fileur à débit, d'un équipement d'enregistrement précis et d'un système polyimide-résiste à haute performance. Le spinner de débit sur MICROTEC MA8BA8-GEN3 est capable de traiter rapidement avec un débit allant jusqu'à 8 plaquettes par heure. Le spinner utilise un régulateur de vitesse très précis pour assurer une exposition cohérente et fiable. De plus, le spinner permet un contrôle précis de la profondeur de mise au point grâce à sa fonction d'auto-mise au point 3D brevetée, et il comprend également une machine de suivi fiduciaire qui suit et corrige les erreurs de position importantes sur le substrat. L'outil d'enregistrement de motifs de KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3 est conçu pour l'enregistrement rapide et complet de motifs fins sur une plaquette. L'unité est équipée d'un outil de détection de bord et d'un modèle de capture de points pour obtenir des performances d'alignement de haute précision. De plus, une suite d'optiques zoom haute résolution permet d'examiner avec précision les motifs afin d'assurer un alignement de qualité. L'équipement polyimide de MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3 est conçu pour l'exposition de plaquettes avec une variété de résines et de substrats. L'unité est équipée d'un large éventail de paramètres d'exposition variables, y compris l'intensité, la surface d'exposition et la résolution, permettant une grande souplesse d'application. Il est également équipé d'un système avancé de contrôle de la contamination qui contrôle avec précision la contamination résiduelle des particules atmosphériques. MA8BA8-GEN3 est un aligneur de masque économique et fiable qui est conçu pour des opérations de production d'alignement de motifs de haute précision pour une variété de substrats et de résistance. Il est capable d'un traitement rapide avec sa filière de débit, et ses systèmes précis d'enregistrement de motifs et de résistance aux polyimides assurent l'alignement de qualité de motifs délicats. Enfin, l'unité comprend également une unité avancée de contrôle de la contamination pour améliorer l'uniformité des procédés.
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