Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA200 GEN3 #293829722 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC MA200 GEN3 est un Masque Aligner automatisé de haute précision spécialement conçu pour les processus de photolithographie de haute technologie. Cet outil est utilisé pour créer des photomasques pour la fixation précise des photomatériaux tels que les couches minces, les résines et les encres. MICROTEC MA200 GEN3 est capable de produire des motifs avec des tailles de caractéristiques aussi petites que 0,5 μ m, avec une précision et une répétabilité de sous-microns. L'équipement offre également une haute résolution spatiale et une très faible variation de dose d'exposition. KARL SUSS MA200 GEN3 est équipé d'étages XY à balayage, d'un microscope, d'un système d'alignement, d'une unité d'exposition et d'une gamme d'autres fonctions de contrôle et de surveillance. Les étages de mouvement sont capables de mouvements précis et reproductibles en X, Y, Theta et Do me axes, permettant un positionnement sous micron de toute l'unité d'exposition avec une précision nanométrique. L'unité d'exposition utilise un scanner à débit variable pour faire varier la chaleur d'exposition en fonction de la densité de configuration requise sur toute la zone d'exposition. L'outil d'alignement comprend un atout d'imagerie de haute précision qui permet l'auto-alignement des macro-, micro- et nano-motifs avec une haute résolution et précision. Le microscope permet de contrôler et d'observer directement le processus d'exposition et d'alignement. Les mesures d'alignement comprennent diverses options telles que l'alignement des arêtes, l'enregistrement point à point et l'enregistrement basé sur une broche de référence prédéfinie. Une méthode logicielle intégrée permet également d'optimiser en temps réel la précision de l'alignement. Pour contrôler tous les sous-systèmes MA200 GEN3 est équipé d'un contrôleur de mouvement numérique, d'un modèle de contrôle de température, d'un contrôleur d'exposition et de systèmes de traitement d'images numériques. Ces sous-systèmes contrôlent et contrôlent tous les composants de l'équipement et intègrent différents paramètres de contrôle afin d'assurer une qualité de sortie cohérente. KARL SUSS/MICROTEC MA200 GEN3 est l'alignement de masque le plus avancé disponible sur le marché. Il offre un balisage efficace et précis des photomatériaux et des masques complexes jusqu'à 5x5 cm ². Grâce à sa haute résolution, sa précision et sa répétabilité, MICROTEC MA200 GEN3 est le choix idéal pour la production de circuits électroniques, d'appareils opto-électroniques, d'écrans et d'autres applications de modélisation précises.
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