Occasion KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293586572 à vendre en France

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ID: 293586572
Style Vintage: 2000
Mask aligner 2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 est un aligneur de masque automatisé, largement utilisé pour les procédés de lithographie dans les industries semi-conductrices et microélectroniques. Le dispositif est équipé d'un équipement optique et mécanique, permettant un alignement précis du masque et l'enregistrement de recouvrement et assure un haut niveau de précision et de vitesse pour le traitement par lots. L'aligneur combine un système optique avec un étage x-y motorisé motorisé pour positionner le masque par rapport à la plaquette. L'unité d'alignement optique surveille et détecte le désalignement de la plaquette et du masque pendant la procédure d'alignement et peut automatiquement déplacer le masque pour éliminer tout désalignement. MICROTEC MJB3 est conçu pour avoir une répétabilité de 0,5 μ m ou mieux. KARL SUSS MJB 3 dispose d'une machine de chargement automatisée, qui permet à un seul opérateur de charger plusieurs masques de manière semi-automatisée. Les masques peuvent être chargés séquentiellement ou en parallèle. L'alignement peut également améliorer dynamiquement la précision de la procédure d'alignement en utilisant des lasers doubles et en mesurant le désalignement causé par la variation d'épaisseur du substrat ou d'autres facteurs au cours du processus de chargement. MJB 3 dispose d'une inspection automatisée du masque, permettant de détecter les défauts avant de copier les masques sur la plaquette. KARL SUSS MJB-3 offre un choix de sources d'exposition optiques ou non optiques, permettant une flexibilité dans le processus d'exposition. Il prévoit également différentes options de lentilles pour des exigences d'exposition personnalisées. Le dispositif est capable de fonctionner avec de nombreux substrats tels que le quartz, le silicium monocristallin et les photorésistes. KARL SUSS/MICROTEC MJB 3 est livré avec un logiciel pour contrôler les opérations d'alignement et les paramètres d'exposition. Le logiciel comprend un alignement manuel et un mode de simulation pour estimer les chevauchements entre le masque et le substrat. Le logiciel permet également le traitement par lots et la capture d'image des résultats d'alignement des plaquettes pour les enregistrements de traçabilité. MICROTEC MJB 3 est conçu pour être très compatible avec d'autres machines de fabrication de semi-conducteurs, comme les scanners laser et les graveurs. Cette configuration permet de traiter simultanément plusieurs plaquettes. Le dispositif offre également des capacités telles que l'allongement du temps d'exposition ou des coordonnées z sélectionnables sur chaque exposition, ce qui peut être bénéfique pour optimiser le processus d'exposition. Dans l'ensemble, KARL SUSS MJB 3 possède une gamme de caractéristiques qui en font un choix idéal pour les procédés de lithographie dans les industries semi-conductrices et microélectroniques. Il est conçu pour offrir un niveau élevé de précision, de répétabilité et de vitesse, ainsi que de flexibilité dans ses processus d'exposition. Le dispositif est également capable de manipuler plusieurs substrats et est très compatible avec d'autres machines de fabrication. MJB 3 est un excellent choix pour un alignement de masque pour la précision et la lithographie rentable.
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