Occasion KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293590392 à vendre en France

KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
ID: 293590392
Taille de la plaquette: 3"
Mask aligner, 3" Power supply: 350 W.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 est un Masque Aligner spécialement conçu pour la photolithographie de niveau de production. En Photolithographie, un motif fin est transféré d'un photomasque à une plaquette de silicium en l'exposant à la lumière ultraviolette, ce qui offre une extrême précision pour le placement des dispositifs sur une plaquette. MICROTEC MJB3 Mask Aligner offre un alignement très précis avec une précision de positionnement ± 0,3 μ m et une répétabilité ± 0,2 μ m. KARL SUSS MJB 3 aligner offre deux systèmes d'alignement indépendants. Tout d'abord, un équipement d'alignement au microscope, qui consiste en une caméra numérique CCD haute résolution (1280 x 1024, pas de 5,5 μ m) avec un grossissement de 4x - 64x et une précision d'alignement de 0,06 µm par pixel. Le deuxième système d'alignement est une unité pas à pas pour l'alignement grossier, qui consiste en un étage à haute résolution (1 800 x 1 800 pas) avec une précision de positionnement de 0,4 µm pour l'alignement grossier. KARL SUSS MJB-3 aligner est équipé d'une machine d'imagerie très innovante, offrant un champ de vision inégalé. Il permet une exposition de grande surface, avec un champ de vision pouvant atteindre 200 mm à 26,6 µm par pixel de résolution. Ceci est obtenu par l'utilisation combinée d'une longue distance de travail 50mm 2.5X zoom-objectif et de deux lentilles de décalage numérique. L'outil d'imagerie est également équipé d'un atout d'imagerie de champ lumineux permettant une gamme de travail dynamique étendue et la sensibilité. MJB3 aligner offre un large éventail de paramètres d'exposition avancés, tels qu'une grandeur de champ d'exposition maximum de 8 pouces x 8 pouces, une gamme de dose d'exposition de 0.1 - 250 mJ/cm2 et une exactitude d'exposition de ± 2 %. Il offre également une variété de types d'exposition, tels que les expositions à un seul faisceau, multi-faisceau et faisceau programmable, pour la flexibilité maximale. Enfin, l'alignement de masque MICROTEC MJB 3 est très intégré pour fournir la plus haute performance, un débit contrôlable et une précision inégalée. Il offre un mandrin sous vide chauffé pour la performance et est capable de traiter jusqu'à cinq plaquettes en une seule fois, assurant un environnement de production à haut débit. En outre, KARL SUSS MJB3 est compatible avec de nombreux progiciels et peut être utilisé comme modèle autonome ou dans le cadre d'une ligne de production entièrement automatisée.
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