Occasion KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293766399 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 est un aligneur de masque de haute précision utilisé dans le processus de photolithographie pour la fabrication de dispositifs microélectroniques et optoélectroniques. MICROTEC MJB3 fournit un degré élevé de précision et de répétabilité pour l'alignement des photomasques sophistiqués sur le substrat. Cela permet le transfert de couches modelées avec une précision parfaite sur les substrats. KARL SUSS MJB 3 se compose d'un module d'optique, d'un module d'alignement mécanique de précision et d'un module de commande d'étage, tous combinés dans une plate-forme universelle. Le module optique contient un illuminateur de type Koehler corrigé à l'infini qui produit un cône de faisceaux lumineux éclairé en parallèle. Le système d'imagerie lumineuse se compose d'éléments de découpage du faisceau, d'imagerie réfractive et de grossissements motorisés. L'élément séparateur de faisceau sépare le champ d'image en quatre sous-champs qui sont focalisés sur les éléments de lentille droite et gauche du module optique afin de faciliter l'alignement simultané de multiples photomasques. Le module d'alignement mécanique de précision est équipé d'éléments motorisés qui permettent un positionnement extrêmement précis et reproductible des masques. Le système guide le déplacement du cadre de masque selon les axes X et Y à l'aide de codeurs linéaires et d'une tête de balayage pour l'alignement. Il dispose également d'un séparateur de faisceau de polarisation transversale pour la détection de position de haute précision et d'un capteur de longueur de course pour le positionnement correct des masques. Le module de commande d'étage est constitué de trois éléments d'étage. Les deux étages principaux assurent un balayage précis des photomasques, tandis que l'étage réglable assure un déplacement précis des masques sur les axes X et Y. Les étapes principales comprennent deux moteurs de positionnement de précision pour les axes de balayage X et Y et un axe de rotation pour une rotation rapide et fiable des échantillons. L'étage réglable comporte un codeur linéaire pour la mesure du décalage réticulaire. MICROTEC MJB 3 comprend l'imagerie en temps réel, des logiciels intégrés et une variété d'accessoires compatibles. Le système dispose également d'une fonction d'auto-test qui effectue une vérification diagnostique de tous les modules et composants. Toutes ces caractéristiques font de KARL SUSS MJB3 un aligneur de masque polyvalent et performant avec une excellente stabilité et précision.