Occasion KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293777763 à vendre en France

KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
ID: 293777763
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 est un aligneur de masque automatisé avancé utilisé pour la photolithographie. Le masque aligner traite des masques de circuit intégré (IC), avec une taille maximale de 8 « x 8 » pour le substrat, avec une série d'opérations d'alignement et d'exposition. L'équipement se compose d'un ensemble optique avancé, de 6 "de diodes laser, et de systèmes de contrôle de la rétroaction numérique. Cette unité fonctionne en mode manuel ou semi-automatique (programmable), ce qui permet d'établir une variété de combinaisons de paramètres d'alignement, d'exposition et de modes de transport. La source lumineuse est un laser à diode qui est utilisé pour aligner et exposer les masques, le système de commande laser aligne le motif de masque avec la résine photosensible. La lumière laser est déstigmatisée et focalisée par l'optique de projection pour obtenir des précisions submicroniques, tandis que les ombres (intensité) des motifs de masque peuvent être résolues sur le substrat avec une précision ± 5 μ m. L'intensité lumineuse est contrôlée électroniquement et peut être réglée entre 5mW à 25mW sans aucune modification physique de l'appareil. Le masque lui-même est monté sur un étage moteur pas à pas, et est entraíné par un moteur pas à pas puissant. L'alignement des masques est réalisé avec précision et rapidité, assurant que les motifs sont exactement superposés à la résine photosensible désirée. La machine est adaptable à diverses conditions de fonctionnement, des plaquettes aux circuits intégrés ou aux motifs complexes. L'unité est entièrement automatisée, avec des systèmes de vide, la manipulation automatique du masque et un outil intégré de cartographie des plaquettes. Cela garantit un processus de photolithographie rapide et fiable. L'actif d'alignement du substrat est équipé d'un modèle de vision avancée pour une cartographie précise, avec un plan plat et une grande précision de ± 0,14 mm. Pour assurer la sécurité, MICROTEC MJB3 est équipé d'un obturateur de sécurité pour empêcher toute lumière laser résiduelle atteignant l'utilisateur. KARL SUSS MJB 3 est adapté aux appareils de photolithographie de pointe, avec un alignement et une vitesse d'exposition rapides, des motifs de masque précis et une répétabilité élevée. En conséquence, il est un outil essentiel pour tout laboratoire de conception et de fabrication d'IC.
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