Occasion KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9035395 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner est un équipement compact, de haute précision, entièrement automatisé, d'alignement de niveau micron conçu spécifiquement pour la production de dispositifs semi-conducteurs utilisant des procédés de photorésistance haute résolution. Il est capable d'effectuer une précision de réalignement de 3 µm et un recouvrement de 1-2 µm sur une surface de 4 « x4 ». Le système utilise une fonction avancée d'autofocus laser pour détecter la position exacte de la plaquette et de la lentille avant chaque cycle d'alignement, assurant la précision et la répétabilité du positionnement de l'alignement de la plaquette. MICROTEC MJB3 Mask Aligner est conçu pour répondre aux exigences de résolution maximale des rayons UV profonds, du faisceau électronique et de la lithographie par faisceau ionique. L'aligneur KARL SUSS MJB 3 utilise un moteur pas à pas et un levier optique piloté pas à pas qui comprend un support pour le zoom et le miroir. L'alignement facilite des temps de traitement plus rapides et prépare un débit plus élevé, car il est équipé d'une unité motorisée d'indexation de plaquettes pour un basculement commode de plaquettes, ou échange de substrat. L'unité de commande de l'aligneur de masque MICROTEC MJB 3 est composée d'un panneau d'opération intégré pour faciliter le fonctionnement et l'observation de la machine, et d'un PC compatible IBM 386 pour l'enregistrement et le contrôle des données, via une interface utilisateur graphique. Le PC et le panneau sont câblés ensemble et interfacés avec un écran LCD tactile et un outil de sélection de bouton-poussoir. L'actif est exploité en mode autonome et peut également être intégré avec un plus grand modèle de contrôle des processus. KARL SUSS MJB 3 Mask Aligner utilise une commande d'étage micrométrique à deux axes et une commande laser à galvanomètre pour la précision et la précision de l'alignement. L'équipement utilise des cadres de vide verticaux et horizontaux pour le masquage, le serrage du masque et le maintien du substrat, ainsi qu'un ensemble modulaire de porte-substrat et de porte-masque avec des pinces réglables en hauteur et en force. La sécurité des opérateurs est intégrée dans la conception du système MICROTEC MJB 3, en raison de son blindage de protection, de ses clés et de ses dispositifs de sécurité. L'unité est conçue pour une consommation énergétique efficace, avec une puissance nominale maximale de 700 watts. L'empreinte machine de 95cm x 65cm est idéale pour tout laboratoire de fabrication de semi-conducteurs, et ses nombreuses fonctionnalités intégrées en font un outil simplifié et convivial pour une lithographie précise et reproductible.