Occasion KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9131891 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC MJB-55 est un aligneur de masque 5 axes de haute précision avec des capacités de manutention des plaquettes. Il est conçu pour transférer des motifs d'un photomasque précisément sur un substrat revêtu de photorésist. MICROTEC MJB-55 utilise une combinaison unique de mouvements linéaires et rotatifs 5 axes contrôlés par PC, lui permettant de transférer et d'aligner avec précision des motifs sur le substrat. L'équipement est conçu pour offrir des temps de transfert de motifs rapides et précis et est idéal pour les procédés de masque tels que la lithographie à grande vitesse ou le prototypage rapide. KARL SUSS MJB55 peut accueillir jusqu'à 6 "de substrats et fournit un étage x-y standard avec une course maximale de 160 mm. Il a plusieurs configurations d'étages, y compris des étages à masque simple, double ou triple, avec une technologie d'asservissement linéaire et de codeur pour un alignement de haute précision qui nécessite un faible entretien. Les étages d'alignement x-y- θ - φ -w offrent une flexibilité opérationnelle et une excellente répétabilité. De plus, la plage focus/z de 0-50 μ m permet une focalisation stable pendant le processus de transfert de motifs. KARL SUSS MJB-55 est équipé d'un étage haute vitesse pour la manipulation de la taille des plaquettes qui supporte une variété de processus. Il offre également la dilatation/dilatation de la plaquette et le contrôle de la température pour améliorer l'alignement et les temps d'exposition. Les accessoires de manutention des plaquettes peuvent être configurés pour de multiples tailles et procédés de substrat, tels que le revêtement de spin, la goulotte pour la manutention liquide, le traitement humide et sec, sol-gel, PED, CMP, etc. En outre, le système est livré avec une unité d'alignement d'imagerie haute résolution intégrée et des capacités d'autofocus pour l'alignement et l'exposition en temps réel. Cela permet des transferts de motifs rapides et précis et des alignements allant jusqu'à 1 μ m. La machine peut être intégrée dans un environnement de production avec sa capacité à être reliée à un outil de collecte de données. Le paquet d'intégration Robot aide les fabricants de masques à optimiser le débit et à conserver l'espace de la salle blanche. En outre, la conception sans entretien et l'interface utilisateur intuitive de l'actif fournissent un entretien et un fonctionnement faciles, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications de production.